大口径干涉仪系统传递函数校准①-强激光与粒子束.pdf

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2017-09-03 发布于天津
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第卷第期强激光与粒子束年月文章编号大口径干涉仪系统传递函数校准许乔顾元元柴林张蓉竹成都精密光学工程研究中心四川成都四川大学光电系四川成都摘要波前功率谱密度被用于评价激光驱动器光学元件在中频区域的波前误差目前主要采用大口径相移干涉仪检测光学元件的波前畸变通过傅里叶变换获得波前的分布相移干涉仪在较高空间频率分量的测量上存在失真效应因此需对干涉仪的空间频率传递函数进行校准采用位相比较法测量大口径相移干涉仪的系统传递函数为此利用衍射光学元件的制造工艺设计制作了标准的透射和反射位相元件比较理论计算值与实测

　第 13 卷　第 3 期强激光与粒子束 . 13, . 3　 V o l N o 　2001 年 5 月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S M ay , 2001　 (

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