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第卷第期东南大学学报自然科学版年月基于原子力显微镜的纳米尺度摩擦力的速度依赖关系张艳卜浩王玉娟陈云飞东南大学机械工程学院南京江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室南京摘要以硅为探针带有自然氧化物的硅晶面为基底样品利用原子力显微镜研究了探针扫描速度对于单个微凸体系统中摩擦力的影响首先利用热噪声标定法测量出硅悬臂梁的法向弹簧常数和法向灵敏度然后利用改进的楔形校准法通过扫描三角光栅得出侧向灵敏度最后测量出扫描区域为正压力为扫描速度为下的摩擦力实验结果表明不同速度下摩擦力随正压力的增加呈近似线性增加
第42卷第2期 东南大学学报(自然科 学版 ) Vol.42 No.2
2012年3月 JOURNALOFSOUTHEASTUNIVERSITY(NaturalScienceEdition) Mar.2012
doi:10.3969/j.issn.1001-0505.2012.02.018
基于原子力显微镜的纳米尺度摩擦力的速度依赖关系
张 艳 卜 浩 王玉娟 陈云飞
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