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穿透式子微相位回技及其用文文福筱雯中近年度方程被用解相位回的我利用最大熵解法解度方程回穿透式子微在成像所失的相位息子微相位回的技被用在目前半元件先程中低介材料孔隙正接面的定性分析上些果示使用最大熵解法解度方程所得到相位息有相好敏度我亦利用回子波通氧化晶粒後相位的改量量氧化的平均位能量的的果氧化平均位能理算果相符表示回的相位在定量上亦有其性一前言象或材料的在光或是子光域如何失的相位息在影像上重建都是重要的奈米相的研究近年席了全球科一早在二十世的年代就展相位工程域一波的奈米潮我的目的就在於想板技相位
穿透式電子顯微鏡相位回復技術及其應用
文/謝文國、陳福榮、許筱雯、開執中
近年來，強度傳遞方程(transport of intensity equation, TIE)被用來解決相位回復的問題，我們利用最大熵解
捲法(maximum entropy deconvolution method, MEM)來解強度傳遞方程回復穿透式電子顯微鏡在成像時所遺失
的相位訊息。電子顯微鏡相位回復的技術被應用在目前半導體元件先進製程中低介電材料孔隙與正負接面摻雜
區的定性分析上。這些結果顯示使用最大熵解捲法解強度傳遞方程
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