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CSMC-HJ设备和设备管理
2004年3月1 日
PagePage1 1
CSMC-HJ设备和设备管理
• 全球半导体设备状况简介
• CSMC检测设备和主要生产设备的控制流程
• CSMC主要设备及特点
• 设备的状态
• 设备的维修
• 设备的维护
• 设备的管理
– 设备指标
– 设备状态码
– 设备报表
• 瓶颈设备和关键设备
Page 2
Worldwide TOP 10 Equipment Supplier
2000 2001 2002
1 Applied Material Applied Material Applied Material
2 Tokyo Electron Ltd. Tokyo Electron Ltd. Tokyo Electron Ltd.
3 Nikon Nikon ASM Lithography
4 ASM Lithography KLA-Tencor KLA-Tencor
5 Teradyne, Inc. ASM Lithography Nikon
6 KLA-Tencor Canon Canon
7 Advantest Dainippon Screen Novellus Systems
8 Lam Research Novellus Systems Dainippon Screen
9 Canon Hitachi Ltd Lam Research
10 Hitachi Ltd. Teradyne, Inc. Hitachi Ltd.
资料来源：VLSI Research Page 3
全球半导体设备投资预测 （ ）
60,000
53,100 Unit：10万US$
50,000
42,400
40,000 37,200
36,000
32,400
29,100
28,900
30,000 27,100
23,800
21,265
20,000
13,531
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