基于bouc-wen类迟滞模型的压电微动台建模期刊.pdfVIP

传感器与微系统（ ） 年 第 卷 第 期 　 　 　 　 　 　 　 　 Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ ａｎｄ Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ 　 　 　 　 　 　 　 　 　 ２０１７ ３６ ６ ２６ ： — （ ） — — ＤＯＩ １０．１３８７３／ Ｊ．１０００ ９７８７ ２０１７ ０６ ００２６ ０２ 基于ＢｏｕｃＷｅｎ类迟滞模型的压电微动台建模 杨晓京，彭芸浩，李 尧　 （昆明理工大学 机电工程学院，云南 昆明６５０５０４） 摘 要 　 ：针对压电微动台驱动时，由压电陶瓷产生的迟滞现象，提出了一种迟滞模型。基于ＢｏｕｃＷｅｎ迟 滞模型的基本思想，并针对ＢｏｕｃＷｅｎ迟滞模型进行了优化改进，大大降低了模型参数的辨识难度，缩短 了运算时间，保证了模型的较高精度要求。为了验证模型的正确性，运用相关的实验设备对模型进行了实 验验证。结果表明：改进后的模型定位误差为０．１８６６ ｍ，最大相对误差为０．４６７％，验证了模型具有较高 μ 的精度以及该迟滞模型的可行性，为后续压电微动台控制器的设计提供了一种可行方案。 关键词：压电微动台；ＢｏｕｃＷｅｎ模型；压电迟滞建模 ： ； ： ： — （ ） — — 中图分类号 ＴＰ２７１．４ ＴＨ７０１　 　 　 文献标识码 Ａ　 　 　 文章编号 １０００ ９７８７ ２０１７ ０６ ００２６ ０２ Ｍｏｄｅｌｉｎｇ ｏｆ ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ ｍｉｃｒｏ ｍａｃｈｉｎｅ ｂａｓｅｄ ｏｎ ＢｏｕｃＷｅｎ ｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓ ｍｏｄｅｌ ， ， ＹＡＮＧ Ｘｉａｏｊｉｎｇ ＰＥＮＧ Ｙｕｎｈａｏ ＬＩ Ｙａｏ （Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ａｎｄ Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｋｕｎｍｉｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｋｕｎｍｉｎｇ６５０５０４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓｍｏｄｅｌｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄ，ａｉｍｉｎｇａｔｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓｏｆｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｃｅｒａｍｉｃ．Ｔｈｅｍｏｄｅｌｉｓｂａｓｅｄｏｎｔｈｅ ， ｂａｓｉｃ ｉｄｅａ ｏｆ ＢｏｕｃＷｅｎ ｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓ ｍｏｄｅｌ ａｎｄ ｔｈｅ ｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎ ｏｆ ＢｏｕｃＷｅｎ ｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓ ｍｏｄｅｌ ｉｓ ｃａｒｒｉｅｄ ｏｕｔ．Ｔｈｅ ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ ｄｉｆｆｉｃｕｌｔｙ ｏｆ ｍｏｄｅｌ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ｉｓ ｇｒｅａｔｌｙ ｒｅｄｕｃｅｄ，ａｎｄ ｔｈｅ ｃｏｍｐｕｔａｔｉｏｎ ｔｉｍｅ ｉｓ ｒｅｄｕｃｅｄ． Ｉｔ ａｌｓｏ ， ｅｎｓｕｒｅｓｔｈｅ ｈｉｇｈ ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ｍｏｄｅｌ．Ｉｎ ｏｒｄｅｒ ｔｏ ｖｅｒｉｆｙ ｔｈｅ ｃｏｒｒｅｃｔｎｅｓｓ ｏｆ ｔｈｅ ｍｏｄｅｌ ｔｈｅ ｍｏｄｅｌ ｉｓ ｖａｌｉｄａｔｅｄ ｂｙ ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓ．Ｔｈｅ ｒｅ