场发射扫描电镜购置.doc

场发射扫描电镜购置 仪器设备名称 技术参数及功能描述 数量 单价 金额 备注 场发射扫描电镜 1.场发射扫描电镜技术指标 1.1分辨率：0.8nm@15kV 1.6nm@1kV 1.2加速电压：0.02-30kV 1.3加速电压调整步长：每档10V连续可调 1.4探针电流：4pA-20nA 1.5稳定性：优于0.1%/h 1.6放大倍数范围： 10-1,000,000× 1.7电子发射源：Schottky型场发射（热场发射）电子源。 ★1.8 Gemini镜筒：无交叉光路设计，电子束仅在样品表面进行一次汇聚，彻底消除电子束交叉三次发生能量扩散大的问题。 ★1.9电子束加速器：无需切换模式即可实现低电压模式下电子束在镜筒内维持较高能量到达样品表面，可低至20V。能适应的表面凹凸不平样品不导电样品、成分复杂样品、需要倾斜观测的样品。 ★1.10透镜系统：电磁透镜/静电透镜式复合物镜。在任何电压条件下样品表面不形成磁场，在极短工作距离下对磁性样品的高分辨成像。 1.11聚焦：工作距离：范围可由1mm至50mm。具有灵敏度与放大倍数相关的粗调和细调。在整个加速电压变化范围内，自动补偿。对倾斜样品进行聚焦矫正。 1.12消像散器：八极电磁式系统 1.13扫描方式：全帧、选区、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜补偿 1.14电子束位移宽度：±14.5μm 1.15样品室采用圆形一体化设计，抗磁，防震，抗躁声。 ★1.16样品室尺寸：358mm（φ），270.5mm（h） 1.17最大样品尺寸： 200mm（直径） 1.18样品置换时间（抽真空时间）：不大于5分钟 1.19附件接口：在样品室上提供14个附件接口，可同时接三台EDS探测器。 1.20样品台类型：双操纵杆控制5轴全自动马达驱动，9桩样品台一个，19桩样品台一个 1.21样品台装配方式：抽屉式拉门。 1.22样品台移动范围： ★1.22.1 X=125mm, ★1.22.2 Y=125mm, 1.22.3 Z=50mm, 1.22.4 T=-4o-70o, 1.22.5 R=360o连续 ★1.23镜筒内Inlens二次电子探测器：采用环形设计，接收无死角。 1.24样品室二次电子探测器 1.25背散射电子探测器 1.26 CCD摄像机 1.27信号选择：二次电子信号、背散射电子信号等，任何二个通道信号都可进行混合，以获取更佳的图像效果。可手动或自动控制对比度/亮度。 ★1.28存储分辨率： 32kx24k像素（最大） 1.29硬件配置要求：原装进口工作站， CPU/Intel Xeon四核2.90GHz以上CPU，8GB内存，2G独立显卡，1000GB硬盘； DVD 读写光驱，24” LCD显示器，鼠标 1.30操作系统：基于Windows7的SmartSEM操作系统 1.31电镜控制操作软件。 ★1.32多功能操作键盘：放大倍数，调焦，调节亮度、对比度，消象散，打字录入信息等功能集中在同一个键盘上，方便操作，提高工作效率。 9全自动控制真空系统：无油机械泵＋分子泵＋离子泵，样品室极限真空度：优于2.0×10-4Pa 2能谱仪技术指标 ★探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，晶体活区面积不少于50mm2。超薄窗设计, 无需液氮冷却，仅消耗电能. 能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV, 元素分析范围: Be4～Cf98。 圆形对称芯片，独立封装FET场效应管，避免X射线轰击 谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV, 48小时内峰位漂移小于1.5eV 具备零峰修正功能, 可以快速稳定谱峰, 开机后无需重新修正峰位。 探测器自动伸缩，精确定位，无需手摇。 能谱仪图像处理器及脉冲处理器均与计算机采用分立式设计，电子图像清晰度8192*8192，全谱面分布图清晰度4096*4096 图像灰度、对比度自动调节，二次电子像及背散射像可同时采集 能谱应用软件采用最新的AZtec平台，基于Win7 技术，多线程设计，导航器界面, 支持用户自定义模式及账户管理，支持分屏显示及远程控制，支持中、英文等多种操作界面 高帽滤波法，自动扣除背底 谱定性分析:可自动标识谱峰, 无禁止自动标定的元素，可进行谱重构，对重叠峰进行手动峰剥离 定量分析: 可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用XPP定量修正技术, 可对倾斜样品进行修正, 并增强对轻元素的修正; 具有完备的虚拟标样库; 具备有标样定量分析及无标样定量分析方法; 可以得到归一化和非归一化定量结果, 可以用化学配位法得到非归一化结果。用户也可以自己建立标样库。 具备全谱面分布和全谱线扫描分析功能。一次面分布分析即可存储样品每一扫描位置(x, y)的所有元素的信息, 用户随后可