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微型机电系统——周兆英　王晓浩　叶雄英等 : 1004- 132( 2000) 0 1- 0 163- 06 微 型 机 电 系 统 周兆英　王晓浩　叶雄英　王伯雄　李　莎　刘卫丹 : 分析了微型机电系统的特点、主要科 技术问题、应用和市场。 预计到2003 年微小系统的市场约为400 亿美元, 是商用航空业的一半。简介 了我国的研究情况。国际上微型机电系统技术刚走向全面发展, 正是我国发展 该领域的好时机。 : 微型机电系统; 微传感器; 微执行器; 微米/ 纳米技术 : T H- 39: A 周兆英　教授 论会, 许多微型机电系统的先驱者参与了这次会 1　背景 议。其后来自 、 、 、 和 M T Berkeley Stanfo rd A T T 科学技术向微小领域发展, 由毫米级、微米级 NSF 的15 名科学家提出了 《小机器, 大机遇: 关于 继而涉足纳米级, 人们把这个领域的技术称之为微 新兴领域——微动力学的报告》的国家计划建议 米/ 纳米技术。微米/ 纳米技术使人类在认识和改造 书, 并声称: “由于微动力学( 微系统) 在美国的紧迫 自然方面进入一个新的层次, 开发物质潜在的信息 性, 应该在这样一个新的 要技术领域与其他国家 和结构能力, 使单位体积信息处理和运动控制的能 的竞争中走在前面”。美国N SF 启动了第一个 力实现又一次飞跃。将在信息、材料、生物医疗、航 M EMS 计划, 美国国防部先进研究计划署( T he 空航天和工业等方面产生 大影响。微型机电系统 U . S Defense Advance Research Projects Ag en- ( M EMS) 是其中的一个新兴的高科技领域, 提到 cy , DA RPA) 每年大额资助其发展。日本通产省自 它就会联想到微电子技术。当前 “奔腾Ⅲ”的一片芯 1991 年度开始实施为期10 年、总投资250 亿日元 片上就有950 万个晶体管。微电子器件的开关速度 的“微型机械技术”大型研究开发计划。这两个举动 受电子传输路径长度的限制, 其微型化要求迫切。 对世界的微传感器、微执行器和微系统的发展有 美国规划微电子线宽由1998 年的0. 2 Lm 、2001 要影响。 年的0. 18 Lm , 发展到2010 年的0. 07 Lm, 科学家 虽然第一个硅平面工艺专利发表于1952 年, 还要进一步突破其极限。微电子技术的另一 大贡 但是直到20 世纪90 年代初, 才出现用硅平面工艺 生产带有信号处理电路的微型加速度计( 以 公 献是在其基础上发展了M EMS 。一般M EM S 是基 A D 于硅材料技术的。硅的机械和电子性能好, 已有的 司为代表) , 主要设计基础是梳状结构和微电容检 微加工技术和设备还在发展, 微电子和微机械的集 测电路, 实现了微小机械结构与电路的一体化集 成。 成化潜力巨大。 近年来, 研究的兴趣不只在小型化, 而 视宏 1959 年美国物理学家、诺贝尔奖获得者R . 微观领域内的多学科交叉, 发展出机、电、光、生、化 Feynmam 就提出微型机械的设想。1962 年微小器 的多学科Syst em n