侧壁四电极电容耦合非接触电导检测器.pdfVIP

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2017-09-03 发布于天津
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侧壁四电极电容耦合非接触电导检测器.pdf

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侧壁四电极电容耦合非接触电导检测器

第 10 卷第 6 期纳米技术与精密工程 Vol. 10 No. 6 20 12 年 11 月 Nanotechnology and Precision Engineering Nov. 20 12 Sidewall 4鄄Electrode Capacitively Coupled Contactless Conductivity Detector ，，，，，，，， 1 2 3 1 2 3 1 2 1 2 3 1 2 GU Wen鄄wen ， WEN Zhi鄄yu ， XU Yi ， WEN Zhong鄄quan ， LIANG Feng鄄fei （1. Key Laboratory of Fundamental Science of Micro/Nano鄄Device and System Technology ， Chongqing University ， Chongqing 400030 ， China ； 2. National Center for International Research of Micro/Nano鄄System and New Material Technology ， Chongqing University ， Chongqing 400030 ， China ； 3. Microsystem Research Center ， Chongqing University ， Chongqing 400030 ， China ）：（ 4 ） Abstract A novel 4鄄electrode capacitively coupled contactless conductivity detector C D integrated along the sidewalls of the separation channel of silicon based capillary electrophoresis （CE） chip was fab鄄 ricated. Equivalent models and formulas of the detector were studied ， and the factors which affect the response sensitivity of the detector were discussed. Deep etching and boron doping technologies were 4 used to fabricate tridimensional electr