Waferlevel microoptics with mechanical （Waferlevel microoptics与机械）.pdfVIP

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2017-09-03 发布于浙江
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Waferlevel microoptics with mechanical （Waferlevel microoptics与机械）

y n a p m o c 9th Annual MEMS Symposium, San Jose, CA y r e Thursday, May 19, 2011 v i l e d n o t o h p e Wafer-level micro-optics with h T mechanical features Dr. Jyrki Saarinen Co-Founder and Senior Vice President Copyright © 2011 Heptagon JSa / 070207 v2.2 p.1 y n a p m o Outline c y r e v i l e d n (1) Introduction to micro-optics o t o (2) Introduction to wafer-level micro-optics h p e (3) Company overview h T (4) Wafer-level manufacturing (5) Applications (6) Summary Copyright © 2011 Heptagon JSa / 070207 v2.2 p.2 y n a p m o Outline c y r e v i l e d n (1) Introduction to micro-optics o t o (2) Introduction to wafer-level micro-optics h p e (3) Company overview h T (4) Wafer-level manufacturing (5) Applications (6) Summary Copyright © 2011 Heptagon JSa / 070207 v2.2 p.3 Micro-optics y n a p m Micro-optics means o c y flat optical elements (refractive and diffractive) with features in the r e v sub-mm or sub-um range, which are fabricated mainly by state-of-the- i l e art lithographic methods d n o t o h p Refractive micro-optics e h Analog to conventional optics, but smaller T and lighter