650nm反射10.6μm透射薄膜干涉滤光片.pdf

第一章绪论 §1．1光学薄膜的发展现状 薄膜光学是现代光学的一个重要分支。光学薄膜技术是激光、红外及航天等高科 技所需的关键技术，光学薄膜技术的发展对促进和推动科学技术现代化和仪器微型化 起着十分重要的作用。光学薄膜是现代光学仪器和光学器件的重要组成部分，它通过 在光学玻璃、光学塑料、光纤、晶体等各种材料的表面镀制一层或多层薄膜，基于薄 膜内光的干涉效应来改变透射光或反射光的光强、偏振状态和相位变化。光学薄膜具 有良好的牢固性和光学稳定性，且质量极轻，成本相对来说比较低。它的光学厚度可 以从几个纳米到几十甚至几百个微米，因此光学薄膜在各类光学系统中应用极为广泛。 回顾历史，薄膜光学最早的萌芽是17世纪“牛顿环”的发现，但用干涉原理对牛 之后这种现象才得到圆满的解释．薄膜光学真正的起步应该从1817年夫琅和菲 (Fabry—Perot)标准具算起，法靠罩一珀珞标准具现在是带通滤光片的基本结构形式 Itl。 1873年，麦克斯韦的巨著“论电与磁”出版，该书从理论上和本质上证明了光波 是电磁波，为波动光学的发展，亦为薄膜光学的发展奠定了理论基础。 但是，直到19世纪末，人们没有找到实际解决制造各种薄膜的工艺方法和膜系计 算分析手段，因此在20世纪以前是薄膜光