磁控反应溅射AlN薄膜制备工艺及性能的研究.pdfVIP

第1章绪论 {．{研究蓄景 随着航空航天及红外技术的高速发展，红外光学元件的服役环境翻益苛刻， 如超音速飞机、空一空导弹等高速飞行器的前视红外密豳、头幕将承受高温、离 压、热冲击、大气中的游离灰尘和冰雹等固体粒子以及雨滴攮击的严峻考验， 故对数外窗口、头罩材料的物理性能和化学憾能提出了越来鹧商的要求【l，2l。红 外窗口、头罩怒红外系统不可缺少的部件，其功能是保护热成像系统农高速(遮 度常逸3～4玛赫或更高)飞行中以及在各种严酷的环境条件下正常工作[31。闲 此，级外窗口材料除了必须具有高红外透过率、低吸收系数等优皂特性外，述 必须具有高机械强度、耐磨损、抗风沙雨蚀、抗化学腐蚀等髓能，．鼠在高温、 低温及辐射彳乍月等各种苛刻条件下，熬光学、物理和化学性熊保持良好。 镑(ZnSe)相比，金剐石具有一系列优异、独特的性能，如从紫外到远红外均 有良好的透过率，硬度在已知物质中黢高，热学率高(是铜的5倍)，热膨胀系 数小，热冲击性好，瓣摩擦性能好，化学性能稳定，8％抗酸、碱的腐蚀等等[41。 这些性质决定了金刚石比其它红外材料具有黧广阔的应用前景，一方面它可以 终为其它红外崧口的保护涂层，另一方面可以传为独立的头肇或窗翻使用，箍 后者熨有吸引力。随着化学气相沉积(CvD)金刚石技术的快速发展，现已