金属Zr薄膜的等离子体氢化特性的分析研究.pdfVIP

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2017-09-03 发布于安徽
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金属Zr薄膜的等离子体氢化特性的分析研究.pdf

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Abstract new was inthis A method．一plasmahydrogenationpresented hydrogenation themeansofion—beam ofZr analysismethods，the properties paper．By hydrogenation a in actionswere withandwithoutNi films overlayerhydrogenplasma investigated． rate conditionswas wasfoundthatthe under It hydrogenation plasma thesan3e thanthatfor under hydrogen greater gashydrogenation significantly and becauseofa ofthe of substrate pressure temperature consequencehi曲flux onthesurfaceandthemuch of impinging highprobability hydrogenparticles in Zrlattice withtheir the compared desorptionprobability． hydrogenpenetration maximum at．％．couldbeachievedat Closetothetheoretical hydrogencapacity,66．7 a absolute of～2Paandasubstrate of～393Kfora hydrogen pressure temperature 0 irradiationof 1 min． plasma only the kinetics on builtthe Basedon present equationsgaseoushydrogenation，we for twokindsofmethodsfor equationsplasmahydrogenation．Then，these were fromtheviewofkinetics． compared hydrogenation