A-311带空气轴承的PIglideIS平面扫描仪.PDF

A-311 带空气轴承的PIglideIS平面扫描仪 高性能，紧凑型XY纳米定位系统 扫描应用的完美选择或精密定位 无尘室兼容 行程达200 毫米× 200 毫米 负载容量达147 牛 低外形 分辨率达1纳米 PIglide 参考级XY定位系统 带空气轴承的高精度PIglide IS XY 平面扫描仪采用扁平设计，可用于替代堆叠XY位移平台。高效、紧凑的设计安装空间有限 ，能够节省 机械空间 。 PIMag®磁力直接驱动 三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件 ，其可直接将驱动力传输至运动平台 ，且无摩 擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务 ，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即 使在最低的速度下也能保持平稳的运行 ，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性 行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。 利用来自领先制造商的数字控制器 ，操作可提供高级控制算法 ，以改善动态性和误差补偿。 附件和可选配件 − 编码器 − PIglide过滤器和空气预处理器 − 多轴运动控制器和伺服驱动器 − 机器底座 − 花岗岩底座板和隔振系统 应用领域 PIglide 定位系统特别适合高精度应用，例如检测系统、激光打标、显微镜或扫描。 21.07.2017 09:40 规格 A-311.Dxx A-311.Axx A-311.Bxx A-311.Cxx 单位 公差 运动和定位 行程 50 × 50 100 × 100 150 × 150 200 × 200 毫米 螺距* 20 30 40 50 微弧 最大 度 偏转角* 5 10 15 20 微弧 最大 度 直线度* ±0.25 ±0.25 ±0.5 ±0.5 微米 最大 每10毫米行程的直 ±10 ±10 ±10 ±10 纳米 最大 线度* 平面度* ±0.5 ±0.5 ±1 ±1 微米 最大 每10毫米行程的平 ±10 ±10 ±10 ±10 纳米 最大 面度* XY正交性 25 25 25 25 微弧 最大