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- 2017-09-04 发布于天津
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UV-LIGA工艺误差对MEMS万向惯性开关性能的影响-浙江大学学报
( )
浙 江 大 学 学 报 工学版
第 卷第 期 Vol.51No.9
51 9
( )
年 月 JournalofZheian Universit Enineerin Science
j g y g g Se.2017
2017 9 p
: /
DOI10.3785 .issn.1008-973X.2017.09.016
j
UV-LIGA工艺误差对MEMS万向惯性
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