镀膜工艺及镀膜系统配置.pdfVIP

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2017-09-04 发布于北京
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镀膜工艺及镀膜系统配置.pdf

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23 6 2003 1112 VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY( CHINA) 443 工业研究与应用 * 伊恩史蒂文森弗兰克泽蒙戴尔莫顿 ( , 6 , 908 100052) Process Configuration of Vacuum Coating System * Ian Stevenson, Frank Zimone Dale Morton (Danton Vacuum B ejiing Rep resentativ e offf ice, 908, Junef ield P laz a Off ice Tow er 1, No 6 Xuan Wumen Da Jie, B eji ing , 100052, China) Abstract T e latest progress in t e optical coating tec nologies and its vacuum system configurationwas reviewed wit attention focussed on widely used vacuum deposition Keywords Optical coating system,T in film performance,T e tolerance triangle, Process configuration 15~ 20 , , , , , ( ) ( ) ( LAN) , , , , , , :TB75; TQ0514 :A : 0253-9748( 2003) 06-0443-06 1 ( WDM) , , , , , ( ) , , , , , ( ) ( ) , , , : , ( 1) ; ( 2) , : , : 2003-06-09 * : , : , , 010- 444 23 , , , , , , , : , , , ( 1) , 175 L