电容传感器线性度标定平台 linearity calibration platform of capacitive sensors.pdfVIP

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2017-09-04 发布于上海
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电容传感器线性度标定平台 linearity calibration platform of capacitive sensors.pdf

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电容传感器线性度标定平台 linearity calibration platform of capacitive sensors

第24卷第1期光学精密工程 V01．24No．1 andPrecision 2016年1月 Optics Engineering Jan．2016 文章编号1004—924X(2016)01—0143—09 电容传感器线性度标定平台张德福，葛川I，李显凌，倪明阳，郭抗 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重，点实验室超精密光学工程研究中心，吉林长春130033) 摘要：设计了一种电容位移传感器在线标定平台，用于位移的高精度调节和检测。该平台的运动对称中心轴、测量光路的对称中心轴和传感器的传感轴共轴，故从测量原理上减小了阿贝误差。标定平台具有z／tip／tih调节功能，保证了传感器的传感面和被测面板的被测面之间的装调对准。介绍了标定平台的组成和标定方法的原理，采用对称平行四边形机构实现了微位移调节，基于柔度矩阵法(CMM)分析了导向机构的输出柔度和行程。试验测得动平台行程为 735．1 后，传感器的线性度由0．01421％提高至0．006 231％。实验结果显示，该线性度标定方法精度高，标定后的传感器满足位移精密调节机构使用要求。关键词：电容传感器；线性度标定；标定平台；柔度矩阵 43 中图分类号：TP212．12文献标识码：A doi：10．3788／OPE01 calibrationof sensors Linearity platformcapacitive ZHANGDe—fu+，GEChuan，LI Xian—ling，NI Ming—yang，GUOKang ResearchCenterExtreme (Engineering of Precision Optics， State Institute LaboratoryofAppliedOptics，Changchun Key ofOptics， FineMechanicsand 130033，China) Physics，ChineseAcademyofSciences，Changchun *CorrPs户o”dingauthor，E-mail：zhangdf@sklao．ac．cn Abstract：Anon—line calibrationfor sensorsis to linearity platformcapacitivedisplacementproposed the andthemeasurementof axis implementhigh—precisionadjustment displacement．Thesymmetry for axisofaninterferometerandthe axisofa sensorare