多晶硅还原炉用方、圆硅芯性价分析及展望.pdfVIP

SOLARENERGY 多晶硅还原炉用方◆圆硅芯性价分析及展望 江苏中能硅业科技发展有限公司 ■王荣跃+马军 摘 要：本文对方形、圆形硅芯的制造成本、使用特点、可能的其他形态，以及其在多晶硅生产中的 性价成本等方面作了较为透彻的评析及展望。 关键词：方、圆硅芯；制造成本；使用性价比；多晶硅生产 。引言 大幅提高。 西门子法生产棒状多晶硅，其原理是把经过 第三阶段是线切割方形硅芯。 高纯处理的，具有一定温度、压力和配比的氢气 硅棒的沉积速度与载体的表面积相关。一炉 和三氯氢硅通入密闭的还原炉内，在电加热(1080硅棒生长期里，载体的表面积从初始的硅芯表面 ℃左右)的载体硅芯表面被连续还原而沉积制得 积开始，随着反应时间增加，沉积出的硅棒越来 (生长)多晶硅…。随着反应时间的增长，载体 越粗，载体表面积越来越大，反应气体对沉积面 表面沉积量越来越多，使较细直径的硅芯逐渐变 碰撞机会也越多，沉积速度也随之变大，因而收 粗为硅棒。当硅棒生长至合适的直径后停炉，拆 率越来越高。 炉收获。 原始载体硅芯的长度由还原炉钟罩的高度而 载体材料的发展可分为3个阶段【2】： 定，等高的方、圆硅芯由于截面形状不同而表面 第一阶段采用的是钼丝或钽管。虽简单方便， 积不同(如方形硅芯边长与圆形硅芯直径相同的 但成品硅棒长成后只能采用敲击去除原始钼丝或 条件下)，因而出现了沉积表面积的差异，从而 钽管，而且在高温下金属原子的扩散严重影响多 影响硅棒的沉积速率及每炉次硅棒的生长周期。 晶硅的纯度和品质，这一工艺很快被硅芯热载体 但方形及圆形硅芯的生产方法不同，其生产装备 取代。 及其他的成本构成也不同：同时，不同截面形状 第二阶段是区熔法硅芯炉拉制圆硅芯。借 的硅芯在使用中也存在不同的特点。 助多晶硅半导体随温度升高电阻降低的负阻效 我国多晶硅企业主要采用西门子法生产棒状硅 应，硅芯在加热或高压击穿的条件下成为热载 产品，生产中需要大量的硅芯。目前，受欧美贸易 体后在还原炉内进行CVD生长多晶硅，生产的 摩擦影响，硅价下行，国产多晶硅利润压缩甚至亏 多晶硅质量明显提高。硅芯拉制几经变革，从 损，故硅芯在产品硅中的成本份额不可忽视【3】。本 单次单拉一根到一炉次拉制数次及数根，效率 文根据多晶硅生产的实际，就硅芯的制备方式、生 收稿日期：2015一07一09 通信作者：王荣跃(1958一)，男，本科、工程师，主要从事电子级、太阳能级多晶硅生产中非标设备及产品前、后处理方面的研究及开发。 wan掣0ngyue@gclsolarenergy．com SOLARENERGY03，2016 万方数据 SOI^RENERGY 产成本、使用特性、经济性价及今后硅芯生产方式、 在一些潜在优点，如夹持力大、铅垂面容易保证 截面形状、研制方向等作了评析及展望。 等H。国内使用方硅芯的企业有江苏中能、陕西 天宏、LDK(部分使用)等厂家，基于成本考虑， 1硅芯的生产方式 不少西门子工艺多晶硅生产厂(包含韩国OCI) 圆硅芯由专门的硅芯炉利用硅芯母料拉制； 仍使用圆形拉制硅芯。 方硅芯由单晶炉先把硅块制成原料棒(致密无裂 纹原料)再线切而成(致密而无裂纹的原料棒目 2硅芯的