测试技术_4_常用传感器.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 电容式传感器(3/12) 电容增量为 当??/?01时，有 （近似线性） 忽略非线性项，得 非线性误差为 灵敏度 灵敏度与极距的平方成反比，极距越小，灵敏度越高，但极距受极板间击穿电压的限制。 电容式传感器(4/12) 设间距增加?? 通常极距变化范围?? /?0 ? 0.1，仅适于较小位移的测量（0.01 ?m~数百微米）。 为了提高灵敏度、线性特性及克服电源电压、环境温度等对测量精度的影响，常采用差动式，灵敏度提高一倍，非线性误差减小为 ?2 ? ? ?1 ?? 电容式传感器(5/12) （2）面积变化型电容式传感器 该传感器的工作原理是在被测参数的作用下来变化极板的有效面积，常分为角位移型和线性位移型。 1）角位移型 式中：? — 覆盖面积对应的中心角； r — 极板半径。 1 — 动板；2 — 定板 1 2 电容式传感器(6/12) 2）平面线位移型 式中：b — 极板宽度。 x x ?x b 1 2 1 — 动板；2 — 定板 电容式传感器(7/12) 3）圆柱线位移型 式中：D — 圆筒孔径； d — 圆柱外径。 面积变化型电容传感器输入输出呈线性关系，但灵敏度较低，适用较大直线位移及角位移测量。 d D 1 2 x l0 1 — 动板；2 — 定板 电容式传感器(8/12) （3）介质变化型电容式传感器 厚度为?2 的介质在电容器中左右运动： --- 介质介电常数改变； --- 电容量改变。 无介质?2时， 存在介质?2时，C=CA+CB （并联） b — 电容器极板宽度 ? CA CB ?1 ?2 x l ?2 电容式传感器(9/12) 式中：?1= ? - ?2 。 显然，灵敏度为常数，输入输出呈线性关系。 电容式传感器(10/12) 可实现非接触测量； 一般传感器两极板间电容很小（几皮法 ~ 几十皮法）? 导致低频输出阻抗很大（几十甚至上百M?）、负载能力弱，电缆分布电容（大且不稳定）影响大。 （2）测量电路 电桥型电路 ~ L1 L2 C1 C2 放大 相敏 解调 滤波 2.特点与应用 输入能量小（极板间静电引力小），灵敏度、高动态特性好（可动质量小，固有频率高）； （1）特点 电容式传感器(11/12) 调频 振荡器 限幅 鉴频 放大 输出 Cx 传感器 ? 调频电路 3）应用 电容式测厚 轧辊 工作极板 被测带材 电容式传感器(12/12) 转速测量 1 2 3 4 1 — 齿轮 2 — 定极 3 — 电容传感器 4 — 频率计 1、什么是线性系统？ 2、测试装置的静态特性及动态特性？ 3、什么是一、二阶测试装置？ 4、测试装置的不失真测试条件 ？ 5、误差的分类？ 测试 (text) * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 电阻式传感器(13/22) 灵敏度： 由半导体理论 E —— 半导体材料的弹性模量。 ?L —— 沿某晶向L的压阻系数； ? —— 沿某晶向L的应力； 半导体电阻材料的灵敏度比金属丝要高50～70倍。 例：对于半导体硅， ?L=(40～80)×10-11 m2/N， E=1.67×1011 Pa, 则S0 = ?LE＝50～100。 电阻式传感器(14/22) （2）压阻式传感器类型与特点 压阻式传感器有两种类型 1）利用半导体材料的体电阻制成粘贴式的应变片，其使用方法与电阻应变片类似。 2）在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成扩散电阻，作为测量传感元件，测量压力和加速度等物理量。 压阻式传感器的优点 缺点是温度误差大，故需温度补偿或恒温条件下使用。 1）灵敏度非常高。 2）分辨率高，例如测量压力时可测出10～20 Pa的微压。 3）测量元件的有效面积可做得很小，故频率响应高。 4）可测量低频加速度和直线加速度。 电阻式传感器(15/22) 3. 变阻器式传感器 （1）变阻器式传感器的结构和原理 变阻器式传感器实际是精密线绕电位器，通过改变电位器触头位置将位移转换为电阻变化。 导体材质和截面积一定，其阻值随导线长度而线性变化。 变阻器式传感器除可以测量线位移和角位移，还可以测量任何可以转换为位移的物理参数，如压力、加速度等。 1）直线位移型 ?x C x A B C R 改变触点C的位置时，AC间电阻值为 KL：单位长度内的电阻值，?/m。 电阻式传感器(16/22) 传感器灵敏度： 当导线均匀分布时，输出（电阻）与输入（位移）成线性关系。 2）角位移型