一种硅微机械陀螺小信号检测电路的设计.pdfVIP

第 21卷 第 4期 北 京 机 械 工 业 学 院 学 报 Vol. 21 No. 4 2006年 12月 Journal of Beijing Institute ofM ach inery Dec. 2006 : 1008 1658( 2006) 04 0020 06 明 亮, 汪银年, 王家光, 张福学 (北京信息工程学院 传感技术研究中心, 北京 100101) : 微弱输出信号的检测是微机械陀螺接口电路设计 的关键技术。针对旋转载体 驱动硅微机械陀螺的振动特性, 给出了一种适用于微弱电容变化量的小信号检测电路。信号经过 差分放大之后, 设计了一种适合该陀螺特点的带通滤波器, 并对该电路的幅频特性和相频特性进 3 行了分析。实验结果表明, 该电路能有效敏感电容变化量, 陀螺接口电路能检测到 10 pF量级的 电容变化, 最小分辨率可以达到 0. 1b/s。 : 硅微机械陀螺; 差动电容; 频率特性 : TN 70 : A Design of a signal detection circu it of silicon m icrom ach in ed gyroscope M ING L iang, WANG Y in nian, WANG Jia guang, ZANG Fu xue ( Sensor Research Center, Beijing Inform ation T echnology Institute, Beijing 100101, China) Ab stract: A kind ofweak output signals detection circuit is presented form icromachined gyroscope driv en by carrier. This circuit is based on the vibration characteristics ofm icrom achined gyroscope. By using different amplifiers, a band pass filter is designed and the AC characteristics of this circuit is analyzed. 3 The final tests show that this circuit can sense the capacitance about 10 pF level, the m inmi al resolu tion reaching 0. 1b/s. Key word s: siliconm icromachined gyroscope; differential capacitance; frequency characteristics 硅微机械陀螺是 于MEMS (M icro E lectroMe 路的幅频特性和相频特性。实验表明: 该电路能够 3 chanical Systems ) 技术的微型惯性器件。它是在硅 有效检测 10 pF量级的电容变化量, 通过调整器件 芯片上采用集成电路制造中的氧化、光刻、腐蚀等微