基于SU8020扫描电镜光学系统合轴研究.pdfVIP

半导体制造工艺与设备 电 子 工 业 毫 用 设 苗 ■ 基于SU8020扫描电镜光学系统 合轴研究 吴文涛，徐 磊，王振亚 (中国电子科技集 团公司第五十五研究所 ，江苏南京 210016) 摘 要 ：详述 了扫描 电镜的工作原理 ，特点；SU8020扫描 电镜基本结构和光学系统 的详细构成 ， 以及如何使 SU8020扫描 电镜更快 ，更好地进行光学系统的合轴调试 ，从而使 SU8020扫描 电镜 处于最佳的工作状态。 关键词：扫描 电镜：光学系统；合轴 中图分类号 ：TN206 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—4507(2017)01-0014-05 StudyontheCoincidenceofOpticalSystem Basedon SU8020ScanningElectronM icroscope W U W entao，XU Lei，W ANG Zhenya (The55 ResearchInstituteofCETC，Nanjing210016，China) Abstract：Theworkingprincipleand characteristicsofscanningelectronmicroscopearedescribed． ThebasicstrucutreofSU8020 scann ingelectron microscopeanddetailedstructureoftheoptical system，aswellas how to makeSU8020 scanning faster，hte coincidence oftheopticalsystem debuggingbetter，SOthattheSU8020scanningelectronmicroscopeinthebestworkingcondition． Keywords：Scanningelectronmicroscope；Opticalsystem；Coincidence 扫描 电子显微镜在半导体科学技术发展中起 1扫描 电子显微镜的原理 着十分重要的作用，它是利用二次电子的各种激 发效应，对半导体基片的微观结构，表面形貌进行 如图 1所示，在超高真空系统环境下，电子束 分析的重要工具，是融合光学、机械、电子和计算 产生部分在 0．5～30kV 的加速 电压牵下，在阳 机等方面的大型综合精密仪器rl】。 极孔附近形成一个几十微米的交叉点，电子束聚 焦成型部分以交叉点为物，通过两级聚焦镜和物 收稿 日期 ：2017—01．03 圈 璧 圭昱 董堇 鱼 镜将 电子束会聚极细 电子束 ，并在基片表面聚焦f2】。 二次 电子 ，背散射 电子等不同激发 电子 的信息，并 在基片上聚焦成几纳米的电予束束斑，在偏转线 对它们加 以收集，整理和分析，得到基片表面的形 圈的控制下，在基片表面上做光栅扫描，通过收集 貌、结构、成分和晶体取向的图像[引。 转线 图 I 扫描 电子 显微镜 的 原理 图 2 扫描 电子显微镜 的特点 片的相关能谱、材料、形貌的信息。扫描 电镜的高 压调整、基片的移动均 由计算机控制，自动化程度 2．1分辨率高