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法人家研究院家奈米元件室特殊管路配置工程招目次目的工作送文件管路要求收保固其他目的本用特殊管路配置及面充等配置工程含管路面之造收安等之基本要求工作特殊管路配置工程如附一承包商完成及提供本工程之安施工其工程如下特殊管路配需求表如附表一附表二新做特殊留器器逆止如附二之管路流程配置附三之本次施作留用配管示意附四之本次施作留用件箱接送文件文件送承包商提送文件至少包括管路件二次箱相格明表量牌如附表三特殊管路配置工程管路件牌或美日口之原解光同成品所有文件以中文示型依原提供管路要求所有穿铣孔再密封符合建及防火
財團法人國家實驗研究院
國家奈米元件實驗室
UHVCVD 0.5% Si3H8/He特殊氣體管路配置工程
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目的 3
1. 工作範圍 3
3. 送審文件 6
4. 管路、設備要求
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