Ru籽晶层对CoCrPt-SiO2垂直记录层形貌及结构-昆明贵金属研究所.PDFVIP

下载本文档

1
0
约2.67万字
约 6页
2017-09-04 发布于天津
举报
版权申诉

Ru籽晶层对CoCrPt-SiO2垂直记录层形貌及结构-昆明贵金属研究所.PDF

1、本文档共6页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

Ru籽晶层对CoCrPt-SiO2垂直记录层形貌及结构-昆明贵金属研究所

2015 年 5 月贵金属 May 2015 第 36 卷第 2 期 Precious Metals Vol.36, No.2 Ru 籽晶层对 CoCrPt-SiO2 垂直记录层形貌及结构的影响 1 1 1 1 1 1 * 2 张俊敏，王传军，沈月，谭志龙，毕珺，闻明，周砚田 (1. 昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明 650106 ； 2. 瓦房店轴承股份有限公司，辽宁瓦房店 116300) 摘要：采用磁控溅射方法，制备了以不同厚度Ru 薄膜为籽晶层的CoCrPt-SiO2 垂直磁记录薄膜。利用原子力显微镜(AFM) 、透射电镜(TEM)分析 Ru 薄膜的结构和形貌，并研究了其结构对 CoCrPt-SiO2 薄膜表面形貌、粗糙度及结构的影响。结果表明，CoCrPt-SiO2 记录层的晶粒尺寸和粗糙度均随着 Ru 籽晶层厚度的增加而增加，薄而粗糙的籽晶层适合于高密度磁记录介质。对于 CoCrPt-SiO2 记录层晶粒的优化，厚度为70 nm 的Ru 籽晶层有利于记录层薄膜晶粒的完全隔离，从而提高了磁记录性能。关键词：金属材料；垂直磁记录介质；CoCrPt-SiO ；Ru 籽晶层；薄膜结构；微观形貌 2 中图分类号：O441.6 文献标识码：A 文章编号：1004-0676(2015)02-0023-06 Effects of Ru Seed Layer on Structural Properties of CoCrPt-SiO Perpendicular Media