线阵CCD位移测试技术的误差分析.pdf

测量与设备 线阵 CCD 位移测试技术的误差分析 蒋剑良　孙雨南 (北京理工大学光电工程系 ,北京 　100081) 　　摘 　要 　利用线阵 CCD 进行位移测量的两种方法 :边缘检测法和中心检测法 ,其相关的误差来源是不同的。 根据静态位移测量和动态位移测量两种情况 ,从原理上对边缘检测法和中心检测法的测量误差进行了分析并对两 种方法进行比较 ,分析了应用中存在的局限性。 关键词 　线阵 CCD 　位移测量 　误差分析 间间隔 ,所以 ,在静态测量中 CCD 输出信号呈理想 一、引言 的对称性 ,而在动态测量中 CCD 输出信号不具理想 CCD 是 70 年代发展起来的新型半导体光电转 的对称性。 换器件。随着科学技术的发展 ,CCD 的生产制造技 术日臻成熟 ,价格大幅度降低。CCD 作为一种自扫 描式光电接收器件 ,在许多领域都得到了应用 ,如图 形识别、几何尺寸测量、位置测量、光学测量等。同 ( ) 时 ,CCD 可以直接输出含有目标空间位置 图像 的 电信号,大大方便了其后续信号采集与处理电路的 设计和制作 ,其研究与应用因而倍受重视[1 ,2 ] 。典 型的 CCD 光电测试系统由光源、CCD 传感器、光学 系统、信号采集与处理电路以及后续处理系统构成 , 其使用范围和优越性是现有其它测量方法无法比拟 的。目前 ,CCD 类电测试技术与计算机技术系统日 益融合 ,可以灵活、方便地组成各种虚拟测试系统 , 利用线阵 CCD 进行位移测量 ,是根据 CCD 靶 应用于现场测试。类似测试系统的开发和应用有力 面上成像光斑位置来确定的。确定该位置有两种方 地促进了虚拟测试技术的产生、完善和发展 ,成为仪 法 :一种是检测光斑边缘 ,另一种是判断光斑中心。 器仪表技术的主要发展方向之一。 光斑的中心是指光斑的几何中心点 ;而光斑的边缘 本文将对线阵 CCD 位移测试技术进行误差分 是光斑中的一个点 ,相对于 CCD 输出信号中的特定 析。 阈值和相应的像元或像素。 二、线阵 CCD 位移测量原理与光源特性 在中心检测法中 ,借助信号的对称性来判断光 斑的中心 ,无须设定判断阈值。而在边缘检测法中 , CCD 测试应用可划分为静态测量和动态测量。 不用考虑光斑的对称性 ,利用设定的阈值来确定光 静态测量是指 CCD 各个像元接收到的光信号在时 斑的边缘。 域上是不变的 ,或者在 CCD 的相同积分时间内光信 1 位移测量原理 号变化足够慢以致可以忽略 ;动态测是指 CCD 各个 典型位移测量原理以图所示的角位移测量来分 像元接收到的光信号在时域上变化很快 , 即在相同 析[2 ,3 ] 。由光源发连续平行光入射到与运动部件连 积分时间内这种变化不能忽略[3 ] 。CCD 输出信号 接在一起的平面反射镜上 ,使被测物体不同位置对 在不同的情况下 ,呈现不同的特点。由于光斑呈一 应着不同的反射光线。光源成像于线阵 CCD 上 ,转 定的宽度 ,CCD 信号处理电路必须有一定的积分时 镜位于其平衡位置时 ,反射光线与透镜光轴重合。 ·16 · 计量技术 2002 No 7