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中南大学 材料结构分析 材料科学与工程学院 艾 延 龄 E-mail: ylai@mail.csu.edu.cn 中南大学 材料电子显微分析技术 绪论 材料科学与工程学院 艾 延 龄 E-mail: ylai@mail.csu.edu.cn 主要参考书目  陈世朴，王永瑞. 《金属电子显微分析》，机械工业出版社，1982  周玉，武高辉. 《材料分析测试技术——材料X 射线衍射与电子显微 分析》，哈尔滨工业大学出版社，1998  刘文西,陈玉如. 《材料结构电子显微分析》，天津大学出版社 1989  郭可信，叶恒强，吴玉昆. 《电子衍射图在材料科学中的应用》，科 学出版社 1983  黄孝瑛. 《透射电子显微学》，上海科学技术出版社，1980  郭可信、叶恒强. 《高分辨电子显微学在固体科学中的应用》，科学 出版社 1985  进藤大辅，平贺贤二 著，刘安生 译. 《材料评价的高分辨电子显 微方法》，冶金工业出版社 1998  David B. Williams and C. Barry Carter. Transmission Electron Microscopy. Plenum Press, New York, 1996 本课程的几个概念 电子显微镜(Electron Microscope) 透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope) 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope) 电子显微学(Electron Microscopy) 透射电子显微学(Transmission Electron Microscopy) 材料电子显微分析技术这门课程研究的内 容是与电子显微镜有关的科学和技术。所 以我们首先要搞清楚什么是电子显微镜？ 它是怎样发展起来的？为什么要发展这样 一种仪器？它有哪些优缺点？电子显微镜 的发展过程及其最新进展如何？ 什么是显微镜？ 显微镜是用于放大微小物体成为人的肉 眼所能看到的仪器。 显微镜是一种借助物理方法产生物体放 大影象的仪器 单式显微镜 （只有一个透镜）：如放大镜等； 复式显微镜 （有物镜和目镜）：如我们现在比 较熟悉的显微镜。 a a) 第一台显微镜（詹森显微镜） b) 列文.虎克显微镜(十七世纪中叶) c) 十九世纪的显微镜 d) 现代的显微镜 b c d 问题：大家用过的光学显微镜中，最大可以 放大到多少倍？ 从理论上来讲，只要我们愿意，我们可以通 过增加透镜等方法使光学显微镜的放大倍数达 到无穷大，这在工艺上没有任何问题，但为什 么不这样做？ 涉及到一个重要的概念： 光学仪器的分辨本领和分辨率 圆孔的夫琅禾费衍射示意图（a ）和衍射圆斑（b ） 衍射圆斑中以第一暗环为周界的中央亮斑的光强度约占通 过透镜总光强的百分之八十以上，这个中央亮斑被称之为 埃里斑。 显微镜的最小分辨距离由瑞利公式给出： 0.61 r 0 n sin