超声波加工装置一般包括1超声发生器2超声换能器3变幅杆振幅.ppt

* Ultrasonic Machining, USM 超声加工。 应用范围： 1、加工硬脆金属材料：硬质合金、淬火钢等； 2、加工不导电的硬脆非金属材料：玻璃、陶瓷、半导体锗、硅片等； 3、可用于清洗、焊接、探伤。 第七章 超声加工 第一节 超声波加工的基本原理和特点 一、超声波及其特性 1、当频率超过16KHz时，超声波。 2、超声波的特性 1）能传递很强的能量，声压； 2）超声波经过液体介质传播时，产生正、负交变的液压冲击和空化现象，引起固体物质分散、破碎等效应 3）空气的可压缩性，阻碍了超声波的传播。波阻抗ρc，介质的波阻抗相差越大，超声波通过界面时能量的反射率越高。当超声波从液体或固体传入空气，或者相反从空气传入液体或固体时，反射率接近100%。 4）有共振、干涉现象：弹性杆成半波长的整数倍，波节处不振动。 波腹、波节的概念。 二、超声加工的基本原理 1、超声振动下的机械冲击；工具放大后的振幅0.05~0.10mm，使工作液中悬浮的磨料以很大的速度和加速度冲击工件。 2、超声空化作用，强化了加工过程；进入工件的微裂纹处，加剧了机械破坏作用。 空化作用：当工具端面以很大的加速度离开工件表面时，加工间隙内形成负压和局部真空，在工作液内形成很多微空腔；当工具端面以很大的加速度接近工件表面时，空泡闭合，引起极强的液压冲击。 3、抛磨作用 超声加工，是以上三个作用综合作用的结果。 加工材料的特点：材料越脆，加工越容易；韧性材料难以加工。 启发：用韧性材料作工具电极。 三、超声波加工特点及应用 1.适于加工各种硬脆材料，特别是非金属材料，如 陶瓷、玻璃及各种半导体材料。 2.宏观切削力小，不易引起变形和烧伤，适于加工 薄壁、窄缝、低刚度零件。 3.加工精度高，表面质量好。 4.加工机床及工具均较简单。 5.生产率比电火花、电解加工等低。 应用：主要用于对硬脆材料加工圆孔、型孔、套料 微细孔，对电火花加工后的各种模具进行抛 磨光整加工等。 超声波加工装置 一般包括： 1.超声发生器 2.超声换能器 3.变幅杆（振幅扩大棒） 4.工具头 5.磨料悬浮液循环系统 一、超声发生器：将工频电流转化为有一定功率输出的超声频电震荡，提供加工能量。 图7-3 （P154）:超声发生器的组成方框图 第二节 超声加工设备及其组成 二、声学部件 组成：换能器、变幅杆、工具。 两种换能器： （一）压电效应超声换能器 石英晶体，变形小，3000V下变形0.01微米； 钛酸钡晶体，变性大，是石英晶体20~30倍。 图7-5 压电陶瓷换能器结构图。 （二）磁致伸缩效应换能器 棒料长度长度，随磁场强度变化。 （三）变幅杆（振幅放大杆） 将0.005~0.01mm的振幅，放大为0.01~0.1mm的振幅。 变幅杆的基本原理： 1、每一截面的振动能量不变； 2、截面小的地方，振动能量大； 3、能量密度正比于振幅。 最大加速度可达16000g，形成的冲击力很大。 （四）工具 1、工具电极的形状和尺寸，决定于被加工零件表面，它们相差一个“加工间隙”； ２、 “加工间隙”的大小，等于平均的磨粒直径； ３、声学头地联结部分应紧密接触，螺纹连接处涂凡士林油，决不可存在空气； ４、选择波节处，固定支撑在机床上。 三、机床 超声加工机床的组成 1、基架：支撑声学部件； 2、工作台； 3、进给机构：使工具以一定的压力作用在工件上。 基本结构，见图7-11(P158) 四、磨料工作液及其循环系统 磨料：常用碳化硼、碳化硅、氧化铝等； 粒度的大小与加工精度及加工效率有关； 注意加工间隙中磨料的更换和补充。 作业：7-1 7-2 第三节 超声加工速度、精度、表面质量及其影响因素 一、加工速度及其影响因素 加工速度单位：g/min，mm3/min 1、工具的振幅和频率的影响 振幅过大、频率过高，使变幅杆承受很大的内应力，超过其疲劳强度，降低其寿命；在联结处损耗也大。 一般：振幅0.01~0.10mm，频率16000~25000Hz之间。 2、进给压力的影响 进给压力过小，使加工间隙大；进给压力过大，使加工间隙减小，磨料和工作液循环不畅，影响加工效率。 面积小时，压力大，5~13 mm2时，最佳静压力400KPa；面积大时，压力小,20mm2以上时，最佳静压力200~300KPa。 3、磨料的种类和粒度的影响 硬度越高，加工速度越快；粒度越粗，加工速度越快。 4、磨料悬浮液浓度的影响：浓