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17 9 V ol . 17 N o. 9
2009 9 Optics and P recision Engineering Sep. 2009
1004-924X( 2009 09- 22 12- 06
1 1 2
董维杰 , 宋志杨 , 崔 岩
( 1. 大连理工大学 电子与信息工程学院, 辽宁大连 116023;
2. 辽宁省微纳米技术及系统 点实验室, 辽宁大连 116023
: ( A FM ,
, 100 ; - ,
0. 4 nm A FM , - ,
,
L abV IEW , 10. 1% 0 . 4% :
,
: 压电陶瓷管; 涡流位移传感器; 位移测量; 非线性校正; 虚拟仪器
: T N384 ; T B92 : A
Measurement and nonlinear correction
for micro- displacement of piezoceramic tube
1 1 2
DON G We-i jie , SON G Zh-i y ang , CU I Y an
(1. School of Electronic and Inf ormationEngineering, Dalian University of
Technology, Dalian 116023, China; 2. Key Laboratory f or icro/ Nano Technology and
Systemof Liaoning Province, Dalian 116023, China)
Abstract: A simple w ay to measure and corr ect t he micro- displacem ent o f a piez oceramic t ube u sed in
an A to m F orce M icroscope( A F M is proposed . T he X/ Y m icro- displacement is det ect ed by an eddy
current meter and it is amplified by 100 t imes t o impr ove t he detection sensit ivity . T he relat ionships
bet w een t he displacement s of piezocaram ic t ube and t he cont rol volt ages are obt ained , and t he highest
resolut ion of displacem ent is calculat ed t o be 0 . 4 nm. A ccor ding t o the w o rking f eat ure of t he t ube,
the nonlinear corr ection is realiz ed by apply ing non- equidist ant contr ol vo ltag e sequences t o scanning
equidist ant pixel, in w hich non- equidistant co nt ro l vo ltag e sequences w ith diff erent pixel resolut io ns
ar e obtained t
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