Rinse1流量低及原因及预防措施分析报告.pptVIP

* HK000M4I_Roadshow_1106 CONFIDENTIAL HK000M4I_Roadshow_1106 Prepared by:薛满圆 2010-4-10 Rinse1流量低的原因及预防措施分析报告 HK000M4I_Roadshow_1106 描述 Rinse1流量低是我们经常遇见的问题，出现此类问题，不仅会Down机，影响生产，而且会出现发黄的脏片，影响片子的质量和良率。 Rinse1流量低的问题，虽然不能避免，但是我们可以采取相应的措施，将此类问题的发生降到最低。 导致Rinse1流量低的根源大致可以分为四种： 1，滤芯上面结晶盐，其透水性减弱。 2， Rinse1水位偏低，循环泵满足不了正常工作要求。 3， 滤芯本身的使用寿命到了。 4， 喷淋上面有结晶盐，使喷淋不能正常，泵无法正常运转。(这种情况很少见) 原因及分析 可能造成Rinse1流量低原因及其分析： 1. 碱槽风刀的角度不对或风刀被堵塞 碱槽风刀 一般情况下，风刀的角度是对着片子进料方向45°—90°，如果角度过小或过大或风刀堵塞，会有很多碱性溶液随片子带到Rinse2，使其碱性浓度变强，溢流到Rinse1(呈酸性)后，形成结晶盐附着在滤芯表面，导致流量低。 2.碱槽的上喷淋角度不对或者是下喷淋喷的太大 上喷淋 下喷淋 上喷淋 图1 图2 图3 图1是喷淋正确位置，角度对着出料方向45 °左右；图2是错误位置，很清楚的看到碱性溶液倒流到Rinse1槽；图3为碱槽下喷淋，如果下喷淋喷的太大，也容易溅到Rinse1槽，导致其流量低。 碱性溶液 3. 制绒槽槽盖板下双排风刀风力较小或赃物把风刀口堵住或风刀的角度不对 大概在20的刻度 一般情况下，流量计的浮子会保持在20的刻度左右，假如风力较小，会导致片子带走大量酸性溶液到Rinse1，使其酸性溶液浓度增强，而赃物堵住风刀口或角度不对，也会有此类事情发生，导致流量低。 图示为双排风刀的流量计 4.出制绒槽大风刀的角度及位置安装不对 出制绒槽风刀 根据RENA厂家的设定，出制绒槽风刀角度为90 °，主要作用是防止Rinse1的水倒流到制绒槽。只要Rinse1喷淋角度及大小固定，就不会形成倒流现象。片子虽然经过双排风刀，但仍会有少量容易带出(156的片子带出的会更多些)，我们打破了厂家图纸的束缚，重新校正风刀角度 (向着制绒槽45 °)；且风刀位置是在出制绒槽，若安装在左边的滚轮位置，会使少量的酸性溶液直接被吹到Rinse1槽，其酸性浓度增强，导致流量低。 5. DL water进水量不足 三个水洗槽加水原理： 图示为DI water进水流量计 一般情况下，DI water流量计的浮子要保持在600刻度左右的位置，若流量过低，溢流到Rinse2和Rinse1的水量相应减少，Rinse2，Rinse1就相当于死水一般，不能循环流动，两槽的溶液浓度逐渐加强，从而会导致其流量低。 点击Rinse1界面下的Filling DI 到达一定高度，Rinse3喷淋工作 DI water电池阀打开 其喷淋工作 Rinse3水满 溢流 到达一定高度，Rinse2喷淋工作 Rinse2水满 溢流 到达一定高度，Rinse1喷淋工作 6.碱槽的档板位置太低 碱槽档板 片子在经过碱槽时，档板会刮掉扩散面大的水珠，防止过多的碱性溶液带到Rinse2槽，如果档板过低，带到Rinse2中的碱性溶液会增多，导致其碱浓度变大，Rinse1会流量变低。 7. 滤芯旁边的手动阀没有关闭 A B Rinse1管路 图1 图1. 其中A是B的实物图，都是表示手动阀，若手动阀A打开，当泵开始工作，水经过滤芯时，有部分水从手动阀B处流走(参考Rinse1管路图)，导致不能满足正常的循环，会因水位偏低，造成流量低。 循环泵 循环方向 8.Rinse1的过滤塞被碎片或赃物堵塞 9，碱槽的滴定阀没有安装Orifice或安装后没有校准 若过滤塞被小碎片或者是赃物堵塞，大量的水不能通过管路，循环泵满足不了正常循环工作要求，也会导致其流量低。 过滤塞 如没安装，其补加量比原来大了五倍，可以计算：工艺原始的KOH补加量1.5L/h，H2O补加量4.5L/h现在KOH补加量的是7.5L/h，比水的补加量还大了很多，导致Rinse2碱性浓度变强，从而会流量低(没有安装Orifice的情况是很少见的)。 但安装新滴定阀一定要校准，每个Orifice的大小可能不太一样，所以我们需要手动补加定量的KOH并标记，观察，调试Service下的RL_VolDrain对应的流量的大小。不然，可能会因流量过大，而导致流量低。 Orifice在管子内部 预防和改善 预防措施