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’#$C 第 卷 第 期 年 月 ! !# #$$ !# ! ! ! % 压电陶瓷管式微型超声马达研究 张 辉 董蜀湘 张淑仪 王天华 张仲宁 范 理 ! ! ! ! ! ! ! 南京大学声学研究所 近代声学实验室 南京 ! !’M$ 摘要 利用微型 压电陶瓷管研制微型超声马达 微型压电陶瓷管外径 #内径 # Qa@ K ’FF KCFF !! # 管长 %FFK微型马达工作在压电陶瓷管的第一阶弯曲振动模式下 其谐振频率约为 %BK%O+IK 在 一定的驱动电压范围内# # # 马达的转速与电压成线性关系 当驱动电压峰峰值为 MT 时 转速达 ’ 启动力矩为 利用压电陶瓷管研制的微型马达与相似尺寸的其他类型的微型 $%0F53K (KB )FK $ 超声马达相比 具有更大的力矩和更高的转速 # K 关键词 超声马达 压电陶瓷 有效机电耦合系数 有限元方法 ! ! ! ! ! 超声马达具有许多传统马达无法比拟的优点$ 力矩较小K !! ! ! ! ! 结构简单 易于小型化 不受电磁辐射干扰等 已 在上述工作的基础上 本文提出利用直径’FF ) * 成为微型驱动器的研究热点’ 近年来 毫米量级 的 压电陶瓷管研制微型超声马达 采用优化设 K ! Qa@ ! 的压电陶瓷管式或柱式微型超声马达已相继研制成 计 改进工艺等措施 使马达具有更高的转速和驱 ! ), * ) * 功 ! C $ 动力矩 等 利用在钛管外覆盖一层 首先 利用有限元方法分析了定子在第一 KP-051/ Qa@ K ! ! ! ! 膜作为定子 研制了一种微型超声马达 其定子直 阶弯曲振动模式下的谐振频率特性 优化定子的尺 ! ! 径为 长度为 这种微型超声马达利 寸和结构 然后 通过实验测定微型马达的运转特