现代精密测量技术的状况及发展前景.docVIP

现代精密测量技术的现状及发展趋势 摘要: 本文主要概述了国内外现代精密测量技术的现状和特征。并指出了现代精密测量技术的发展趋势将是精密化﹑高速化﹑自动化﹑智慧化﹑集成化﹑经济化﹑非接触化和多功能化。 关键词: 现代精密测量技术 现状 发展趋势 Modern Precise Measurement Technique Status and Development Trends Abstract: This paper outlines the domestic and international statues of modern precise measurement technique and features. And pointed out the main trends of precise measurement technique are precision, high-speed, automated, integrated, intelligent, economies, non-contact and multi-functional. Keywords: Modern precise measurement technique Statues Trends 1引言 在科学技术高度发展的今天，现代精密测量技术对一个国家的发展起着十分重要的作用。如果没有先进的测量技术与测量手段，就很难设计和制造出综合性能和单相性能均优良的产品，更谈不发展现代高新尖端技术，因此世界各个工业发达国家都很重视和发展现代精密测量技术。[1] 现测术一门学电传图计术为体的综学广泛学领的发众关学现工业制术学，测仪器的发趋势。标测CMM）是适应发趋势以对产维杂状进测发标测现工业产时为纪点发标国/纳测术领开广泛应 2 国内现测术现状 2.1坐标测发标测为寸数检测设备造领广术应产满产实际2.1.1 误补偿术国CarlZeiss开发的CNC标测热灵术标测的测17.8～25.6℃范围不温变响国内开发的数测量机软统PMIS项统误补偿统参数识别CNC小型坐标测2.1.2丰富的软术CarlZeiss开发的标测量机软STRATA-UX，其测量数从CMM传到随备统计软对测统给检验数进实时对进评数库动统计报X-BARR及X_BARS图频图运图标图国测统软齿轮轮及轮轴计50个测块开发种图显示及绘图于辅进实际测之间较输STRATA-UX系统处理简图 2.1.3非接触测测学头应CMM上代替接触式探头过头扫确获进面轮维体测线识别该测将双三测应围内测对杂曲面轮进行测1μm。英国IMS产IMP型坐标测头 图2.1.3IMP型坐标测2.2微/纳级测术学技术领发级级继而纳级/纳术/纳术测质结达纳级尺类级纳层纳级术为两方纪级发现个纳数级。刚石车床栅达1nm实验经10nm以下的线/纳术的发开级纳级的测术设备亚微测貌测术经较HP5528双频激测统10nm）、具有1nm精度的光学触针轮廓扫统等为扫显镜、扫针显镜显镜来观测结实现进级装配工处为来术HP5528双频激测统2.2.1 扫针显镜1981年美国IBM扫显镜们带观间分广泛应学学学领动纳术产和发时STM相似的原理与结继产针样来测纳现来质扫针显镜SPM），用来获过STM无获关结质为人类认识观面为扫针显镜1）原子力显镜AFM） 为弥补STM观测导导结Binning等人发AFM，AFM利用微探针样过时带动悬随表下运动过学道电检测悬实现针间检测，从就应STM主要用于自然科学当数AFM已经工业术领1988年中国学学所国内AFM。安装纤传导维测统进绝对测计显镜前纳测术类AFM的工作原理，检测测对动组产响针10～100nm距离范围测样的静电力德华继开发显镜、静电力显镜、显镜等统称为扫显镜显镜2）光子扫描隧道显微镜（PSTM） PSTM的原理和工作方式与STM相似，后者利用电子隧道效应，而前者利用光子隧道效应探测样品表面附近被全内反射所激起的瞬衰场，其强度随距接口的距离成函数关系，获得表面结构信息。 图2.2.2光子扫描隧道显微镜 （3）其它显微镜 如扫描隧道电位仪（STP）可用来探测纳米尺度的电位变化；扫描离子电导显微镜（SICM）适用于进行生物学和电生理学研究；扫描热显微镜已经获得了血红细胞的表面结构；弹道电子发射显微镜（BEEM）则是目前唯一能够在纳米尺度上无损检测表面和接口结构的先进分析仪器，国内也已研制成功。[4] 图2.2.3扫描隧道电位仪 2.2.2纳米测量的扫描X射线干涉技术 以SPM为基础的观测技术只能给出纳米级分辨率，却不能给出表面结构准确的纳米尺寸，这是因为到目前为止缺少一种简便的纳米精度（0.10～0.01nm）尺寸测量的定标手段。美国NIST和德国PTB分别测得硅（220）晶体的晶面间距为