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2017-09-06 发布于天津
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电子工业专用设备 GHIJKG Equipment for Electronic Products Manufacturing !#～$µ m IC 生产线中二手Stepper 解决方案王作义，郑武（上海微高精密机械工程有限公司，上海 201203 ） IC Stepper .2～1µm 5 6 7通过对国内生产线及其装备的现状、市场前景的分析，阐述了国内 IC 生产线中二手Stepper 解决方案。 89:7分辨率；生产线；二手；解决方案 ;=7TN305 ?@ABC 7C ?DE71004-4507(2005)03-0004-34 F Secand-Hand Stepper Solution in 0.2～1 m IC Fab WANG Zuo-yi, Zheng Wu (Shanghai Nanper Mechanics Co., LTD, Shanghai 20 1203, China) 1 ! IC #$% Stepper ’()*+,- 1.2 ! IC #$%. Stepper /0’( FG 4 I6 7x;LM01 5 1.1 ! IC #$%’( x m ’()*+, -./01234 56 78 9: 2003 I 57= IC k 9 5o 13 5 z ; =3?@01 -A B$ 5CDEFGHI J 12 IC k 300 mm 2 200 mm Stepper K 56 7 IC ; -LM NO 5PQRST 5U VW z J \ 200 mm IC XY Z [\]+,^_ ‘ab2cd0e 7fg h Y 9 z k 150 mm IC 2003 2 7‘+,ij 5 6 7 IC k -012Qlm3^ ) z k I k _no(pq-rs Y Vt u7v IC kwx^_ Ik I z125 mm IC z ~ k,2003 Ik 5I 3 G y 200 mm {|}0.18～0.13 m 5 o 100 nm ^_ 5 100 nm J01 HI -M01 57 IC k = J 7 IC ; w x ^ _ y z125/ z150 mm { | } }yh - IC k Y 0.8 m