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FLE-10系列光纤激光干涉尺.pdf
FLE-10系列光纤激光尺
新一代更高精度的光栅尺替代方案
1nm的分辨率
0.8ppm的精度
0-4m 的测量距离
1m/s的测量速度
输出信号:
差分TTLAB相信号
SinCos1Vpp正余弦信号
BiSSC信号
光纤激光尺特性:
高分辨率输出,分辨率最小值可设定为1nm。
高测量精度,测量精度可达0.8ppm,即测量每米的误差在0.8um。为高精度加工提供
精确定位。
大范围测量,最大量程4米。
测量速度更快,最高测量速度可达1m/s,高于一般激光干涉仪。
体积小巧,需要安装在被测设备上的激光探头尺寸只有35x51x83mm,只有手心大小,
适合狭小空间安装。
安装方便,激光探头与角锥只需要简单的对准,且无需如同安装光栅尺一样对安装面进
行刮研。
多种输出信号可选择,光纤激光尺可输出差分TTL信号,SinCos1Vpp信号和BiSSC信
号,可以适用于不同的控制器。
多种保护功能,光纤激光尺可以对激光状态、光路状态等关键信号进行实时检测,确保
光纤激光尺工作安全可靠。
主机探头分离,光纤激光尺标配3米的光纤与电缆,可将激光尺主机远离被测量设备,
便于安装,同时还可避免主机散热对测量通路的影响。
功能丰富的软件,用户可通过软件对光纤激光尺进行配置,如分辨率、补偿系数等功能,
还可以对测量结果进行监视,输出。
开放的API接口,LAMOTION将软件API接口开放,用户可以使用API接口做二次开发,
更好的使用光纤激光尺。
环境补偿功能,光纤激光尺可根据用户选择的补偿方式,使用设定或测量的温度、压力、
湿度补偿激光波长,降低不同环境因素对测量结果影响。
余弦误差补偿功能,光纤激光尺可以对余弦误差进行补偿,输出实际的位置值,排除余
弦误差的影响。
光纤激光尺选配特性:
可选的单通道与双通道测量版本,可根据需要选择,节省成本。
光纤激光尺可选配环境补偿组件,组件中可包含环境温度传感器、环境湿度压力传感器,
材料温度传感器,光纤激光尺可根据环境的温度、湿度、压力来对激光测量进行补偿,
还可以对材料的热膨胀进行补偿,确保加工完成的工件在常态(NTP)时的精度。
加长的探头光纤与电缆 (最大支持10m),使用更长的探头与电缆可适应更大的被测设
备。
不同方式的主机安装支架,用户可以更合理的安装主机。
可选探头调节底座,在被测物安装环境不是很理想时,使用探头调节底座可更方便的调
整光束。
光纤激光尺组件:
双通道光纤激光尺主机 激光探头与角锥反射镜
环境补偿基站(选配) 环境温度传感器(选配)
环境压力湿度传感器(选配) 材料温度传感器(选配)
光纤激光尺测量原理:
激光干涉测长法是已知的最高精度长度测量方法,激光干涉仪是用来对机床、测量机等
进行检测标定;LAMOTION 的FLE光纤激光尺采用与激光干涉仪相同的原理,同时利用
LAMOTION的实时快速补偿算法将激光干涉仪的位置实时输出,实现了光栅尺的功能,并且
精度与激光干涉仪相当。
激光干涉测量的基本原理是利用激光的干涉,在被测物 (角锥反射镜)前后移动的过程
中,被测光与参考光发生干涉,将产生一个光束增强周期,一个减弱周期的复合光束,强度
从亮到暗的周期为半个激光波长 316纳米,通过光强的强度变化就可以检测到反射镜的移
动距
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