工序作业操作控制重点 411 10 2.pptVIP

PECVD工序作业操作控制重点 大纲 1 . PECVD工艺操作发展过程及工作原理 2 . PECVD基本结构组织与各个部件 的具体作用 3. PECVD用水系统与用气系统简介 4. PECVD生产供特气系统介绍 5.分解现有双结工艺执行的具体动 作与现场操 作控制重点 6.现场停电、水、压缩空气异常处理方法 7. 操作与保养注意点 PECVD工艺操作发展过程及工作原理 1、建立在设备的基础上PECVD工艺操作发展由原 先全半自动化操作转变成现在全自动化操作。 最初工艺控制过程是由人工手动操作完成，存在着误操作性、工艺重复性差、生产不稳定性等不良之处。随着不断改善的脚步，从电池一车间1号与2号PECVD原有软件升级到目前三车间PECVD操作软件，生产的数量也由原来的48片一炉变成现在的72片一炉。也让现场工艺操作变成自动化，避免了原来存在的问题-人为操作不当，从工艺操作上确保了工艺重复性，才有现在这种稳定的生产线。 2、PECVD的用途：是在镀特殊材料和特殊表面镀 膜。目前使用的材料为导电玻璃（TCO）； 3、PECVD的工作原理：在真空压力下，加在电极板上的射频电场，使反应室气体发生辉光放电，在辉光发电区域产生大量的电子。这些电子在电场的作用下获得充足的能量，其本身温度很高，它与气体分子相碰撞，使气体分子活化。它们吸附在衬底上，并发生化学反应生成介质膜，副产物从衬底上解吸，随主气流由真空泵抽走。 PECVD工艺操作发展过程及工作原理 1、构造一台PECVD系统我们所需要部件有抽粗真空组合泵、高真空组合泵、干泵、腔体、腔体与泵组之间的连接管道、射频电源、控制系统的PLC、装导电玻璃的夹具（工件架）、为夹具（工件架）提供一个基础温度的预热炉等等； 1.1、腔体的主要作用是：提供一个置放工件架空间、维持恒温工作环境。在腔体四壁上布满了加热丝，除前后门之外，根据热电偶测得温度来控制恒温。 通过可控硅来控制我们所要恒定温度的数值。 1.2、机械泵主要作用是：机械泵是油封式机械低真空泵，它是真空技术中最基本的真空获得设备之一 （可以直接抽大气）。 PECVD基本结构组织与各个部件的具体作用 机械泵内部构造图示 PECVD基本结构组织与各个部件的具体作用 获得低真空常采用上面的旋片式机械泵，机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀，从而获得真空的装置。它可以直接在大气压下开始工作，极限真空度一般为1.33～1.33×10-2Pa，抽气速率与转速及空腔体积V的大小有关，一般在每秒几升到每秒几十升之间。 简单地描述就是用来抽大气。 1.3、罗茨泵主要作用是：加快抽真空的速度， 提高工作效率为主，在它的前级需要一个前级泵，为它提供一定的前级真空度。在现场要求开启它的前级真空约为500Ｐa。 1.4、维持泵主要作用：它位于分子泵的前端，维持分子泵前端的压力，达到安全使用分子泵的前提条件。 　 1.5、分子泵主要作用：让腔体获得本底真空（高真空），相对减少气体的残留杂质成分。一般使用分子泵抽底真空的时间约为30分钟，它有自己相对独立的操作系统，通过分子泵电源界面来体现。 PECVD基本结构组织与各个部件的具体作用 1.6、干泵的主要作用：它是一个组合泵，本身构造是由机械泵与罗茨泵组成，在工艺过程中它是主要角色，特殊的混合气体都是通过它来抽排。 1.7、真空知识、真空单位、测量器件 1.7.1、真空区域大致划分及分子运动 PECVD基本结构组织与各个部件的具体作用 真空划分 压????????力 分子运动状态 Pa Torr 低 真 空 105～102 760～1 粘滞流 viscous flow 中 真 空 102～10-1 1～10-3 中间流（过渡流） intermediate flow 高 真 空 10-1～10-5 10-3～10-7 分子流??molecular flow 超高真空 〈10-5 〈10-7 分子流??molecular effusion 1.7.2、真空单位：所谓“真空“，是指在给定的空间内，压 强低于一个标准大气压强(101325帕斯卡)的气体状态。气体稀薄的程度叫真空度，通常用气体的压强来表示一个真空容器中真空度的高低，气体压强越低，真空度越高。到目前我们最经常用到的真空单位如下： PECVD基本结构组织与各个部件的具体作用 标准环境条件 温度为20℃，相对湿度为65%，大气压力为： 1atm 101325Pa=1013.25mbar=760Torr 气体的标准状态 温度为0℃，压力为：101325Pa 压力（压强）