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傅里叶变换轮廓术新的相位及高度算法分析
第27卷第2期 光学学报 V01．27，No．2
2007年2月 ACTAOPTICASINICA February，2007
文章编号：0253—2239(2007)02—0225—5
傅里叶变换轮廓术中新的相位及高度算法分析*
毛先富 陈文静 苏显渝边心田
(四川大学光电科学技术系，成都6100641)
摘要： 在传统傅里叶变换轮廓术三维面型测量中，为了准确得到被测物体的高度分布，必需保证投影仪出射光瞳
和摄像机入射光瞳的连线与参考面平行并且在同一水平面，否则存在较大的误差。着眼于更普通的情况，讨论双
瞳连线与参考面成某一夹角时的高度计算，推导出了非平行时的参考面光场及物面变形条纹光场的表达式，并给
出了高度映射公式。因而，传统的傅里叶变换轮廓术测量成为角度a一0时的特例。该方法使傅里叶变换轮廓术
的测量条件得到了放宽；易于通过移动投影装置或成像装置获取全场条纹；并为在难以实现双瞳与参考面平行的
特殊环境下的测量提供了可行的方法。计算机模拟及实验均证实了该方法的有效性。
关键词： 傅里叶变换轮廓术；相位计算；相位高度映射；条纹处理；误差分析
中图分类号：0438 文献标识码：A
ofNewPhaseand inFourier
Analysis HeightAlgorithm
Transform
Profilometry
MaoXianfuChen Su BianXintian
WenjingXianyu
610064)
(DepartmentofOptoelectronics，SichuanUniversity，Chengdu
Inordertoobtainacorrect distributionofameasured theconventionalFourier
Abstract： height objectusing
transform linebetweentheexit ofthe andentrance
profilometry(FTP)，theconnecting pupil projectingsystem pupil
ofthe devicemust tothereferenceandinthesamehorizontal．0therwise。severeerrorwillbe
imaging parallel plane
a in for of
introduced．Wenew calculationmethodFouriertransform thecase
propose height profilometry
the ofthereferenceanddeformed thenobtainthe
nonparallel，deduceexpression fringe fringe，and phase—height
the the
formula．Asaresult，wefindth
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