镜面面形误差统计方法研究.PDFVIP

激光与光电子学进展 53，04l201(20l6) Laser Optoe1ectronicsProgress @2016《中国激光》杂志社 镜面面形误差统计方法研究 周平伟 马宏财 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033 摘要 光学镜面的变形包括刚体位移和面形误差(表面畸变)，分析刚体位移和面形误差对于评价光机系统的环境适 应性、空间位置稳定性和成像质量具有重要作用。根据坐标转换法去除镜面变形中的刚体位移，论述了曲面拟合、法 线方 向和光轴方 向三种面形误差统计方法 的原理并进行了深入 比较 ，针对不 同重力及温度工况计算 了镜面面形误差 的均方根(RMS)值及峰谷 (Pv)值。引入镜面弥散斑 RMS半径并将其作为面形误差大小的光学评价标准 ，通过三次 插值算法生成栅格矢高面，在 ZEMAX软件 中建立了高精度的镜面面形误差光学模型，最后采用面形误差的RMS值 及Pv值与弥散斑RMS半径之间的线性关系考查 了三种面形误差统计方法 的光学性能。研究结果表 明：曲面拟合法 统计的面形误差信息不完整，适用于镜面面形方程参数不发生明显改变的工况。法线方向和光轴方向两种统计方法 统计的面形误差信息完整 ，可以全面地衡量光机系统的成像质量。 关键词 测量；面形误差；刚体位移；均方根半径；栅格矢高面；光机集成分析 中图分类号 O435 文献标识码 A doi：】0．3788／LOP53．04】2O1 ResearchofStatisticalM ethodsforM irrorSurfaceFigureError ZhouPingwei MaHongcai ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences Changchun，Jilin 130033，China Abstract Thedeformationofopticalmirrorsurfaceincludesrigid—bodymotionandsurfaceerror(distortion)． Analyzingthedistortionandrigid—bodyerrorsplaysan importantrolewhileevaluatingtheimagingquality，the environmentaladaptabilityandspatialpositionalstabilityoftheopto—mechanicalsystem ．Removalofrigid—body errorsisbasedonthecoordinatetransformationm ethod．Threem ethodsaredescribed toperform thecalculation ofrootmeansquare(RMS)valueandpeakvalley(PV)valueofdistortion．TheopticalmodelinZEMAXsoftwareis establishedthroughgridsagsurfacebycubicinterpolationalgorithm ．TheRMSspotradiuscalculatedinZEMAX softwareisusedastheopticalstandardofm irrordistortion．The linearitybetweenRM SvalueandPV valueof distortion andRM S spotradiusistaken astheevaluation criteriaoftheopticalperform anceofthreestatistical methodsformirrordistortion．Theresultsshow thattheinf