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低温与超导超导技术第卷第期超导共面波导谐振腔耦合与串扰特性仿真张颖珊刘建设赵娜赵虎李铁夫李浩刘其春李刚陈炜清华大学微电子学研究所北京清华大学信息科学与技术国家实验室筹北京摘要通过仿真对超导共面波导谐振腔的耦合与串扰进行了研究建立了直线和不同形状蜿蜒线的超导共面波导谐振腔模型通过对比分析选择了合理的配置仿真了间隙和不同长度的叉指形式的输入输出耦合电容得到谐振频率和品质因数随其大小的变化规律仿真了双腔之间的距离腔的输入输出耦合电容以及腔间附加耦合电容对串扰的影响关键词超导共面波导谐振腔串扰仿真耦合电

低温与超导 超导技术 Cryo. & Supercond. 第42 10 Superconductivity Vol. 42 No. 10 卷 第 期 超导共面波导谐振腔耦合与串扰特性仿真 , , , , , , , , 张颖珊 刘建设 赵娜 赵虎 李铁夫 李

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