11 超导纳米线单光子探测器.pdfVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 60 ，No. 3 (2011) 038501 超导纳米线单光子探测器*  张蜡宝 康 琳 陈 健 赵清源 郏 涛 许伟伟 曹春海 金飚兵 吴培亨 ( ， 2 10093 ) 南京大学电子科学与工程学院超导电子学研究所 南京 (20 10 5 15 ;20 10 6 6 ) 年 月 日收到 年 月 日收到修改稿 、 ， (SNSPD ) . 利用磁控溅射 电子束光刻和反应离子刻蚀等微加工技术 开展了超导纳米线单光子探测器 的研究 SNSPD ， SNSPD . ， 通过对 的设计和制备工艺参数的优化 成功制备出了高质量的 单光子检测实验表明 制备的 SNSPD 660 nm ， 30 % ， 1550 nm ， 4 . 2 % . 对 波长的光信号 系统检测效率可达 对 波长光信号 最大系统检测效率为 在 10 c / s ， 20 % (660 nm) 3 % (1550 nm). 平均暗计数小于 的情况下 系统检测效率大于 和 : ， ， ， 关键词 单光子 氮化铌 纳米线 探测器 PACS :85 . 25 . Pb ，07 . 57 . Kp ，85 . 60 . Gz ，03 . 67 . Hk 目前的SNSPD 主要采用 3—6 nm 的高质量 NbN ， 1. 引 言 外延薄膜 用微加工手段将薄膜刻蚀成曲折线 结构，NbN 纳米线宽度一般在 100 nm 左右. SNSPD 1. 4—4 . 2 K ， 超导纳米线单光子探测器 (Superconducting 工作在 的温度 偏置在略低于临界电流 . ， Nanowire Single Photon Detector ，SNSPD)是一种利用 的状态 在没有光子入射时 超导纳米条处于超导 ， NbN ， 超导纳米膜条进行光子检测的高灵敏光子探测 态 当光子被 膜条吸收 吸收光子处形成一个 ［1 ］