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5 角锥棱镜

角锥棱镜 激光干涉仪 位移、角偏、直线度、平面度、 转角测量专用靶标反射镜 Laser measurements are Optodyne business 角锥棱镜 角锥棱镜是由三个相 互垂直的反射面组成 的一个棱镜,类似于 立方体切下来的一个 角。 三个反射面相互之间 的垂直度误差要求很 高一般为90 °±1-2〞 三个反射面上都镀反 射膜和保护层,斜面 上镀增透膜。 Laser measurements are Optodyne business 科望技术咨询(上海) 2011-3-7 2 有限公司步海光 角锥棱镜特点-1 光束射入角锥棱镜 以后,经角锥棱镜 入射光 三个反射面的三次 反射,从角锥棱镜 出射。 出射光束和入射光 束平行。 出射光 Laser measurements are Optodyne business 科望技术咨询(上海) 2011-3-7 3 有限公司步海光 角锥棱镜特点-2 光束射入角锥棱镜以后, 经三次反射后,从角锥 入射光 棱镜出射。 入射点与出射点相对于 角锥棱镜顶点成轴对称 分布。 入射点:上、出射点: 下, 入射点:左、出射点: 出射光 右。 Laser measurements are Optodyne business 科望技术咨询(上海) 2011-3-7 4 有限公司步海光 角锥棱镜特点-3 入射光 入射光束不必与 角锥棱镜入射表 面不必垂直入射。 入射光束只要在 出射光 角锥棱镜的有效 通光范围内即可。 Laser measurements are Optodyne business 科望技术咨询(上海) 2011-3-7 5 有限公司步海光 角锥棱镜特点-4 当入射光束射到角锥棱镜 入射光 的角锥顶端时。 经角锥棱镜反射的光束不 但与入射光束平行,而且 还是沿入射光束原路返回。 同样入射光束也不必与角 锥棱镜入射表面垂直,只 要在角锥棱镜的有效通光 范围内即可。 出射光 MCV-500、5002、5003、 5004、5005只要满足这个 状态就能进行测量。 Laser measurements are Optodyne business 科望技术咨询(上海) 2011-3-7 6 有限公司步海光 MCV-2002测量光路图

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