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MEMS微机电致动器与感测器模拟分析技术培训班-工研院.PDF
主辦單位: 承辦單位: 執行單位:
《 體驗、互動、實踐物聯網技術》
MEMS 微機電致動器與感測器
模擬分析技術培訓班
本課程採用電腦教室實務教學 ;加送~微機電/微流體有限元素分析中文書/軟體一個月試用
課程介紹 建議可自備NB (OS:WINDOWS 7/ 8 專業版以上) 安裝練習
微機電系統(MEMS)是一種將微電子技術與機械工程融合在一起的工業技術,由
尺寸為 1 至 100 微米的元件所組成的微機電設備尺寸約為 20 微米到 1 毫米之間,
在半導體、電信、生醫等產業蓬勃發展 ,近年來,隨著物聯網(IOT)的蓬勃發展以
及工業 4.0 的發展趨勢,可望在 2017 年時整體產值可望達到 210 億美元,因此具
備微機電建模的技能,可帶來公司與個人的成長。
本課程以MEMS 微機電致動器與感測器為主題,此類問題通常為多物理耦合問題,
結合有限元素分析軟體 COMSOL Multiphysics 模擬分析實作,從電-結構、熱-結
構、電-熱-結構、壓電/壓阻等相互作用的直覺式輸入介面,提供解決微機電相關
之問題 。
課程特色/ 目標 (*摘自工業技術與資訊 190 期8 月號)
本課程主要應用電腦模擬,來解決微機電系統(MEMS)致動器與感測器問題所涵
蓋的物理耦合層面,透過系統性案例實作,從基礎建模流程介紹開始,涵蓋數個由
簡單到深入的結構力學與耦合實務案例,以培養微機電模擬計算之相關技術人才。
以下為成果示範圖參考:
加速規感測器 電容式壓力感測器 靜電式致動器
本課程歡迎企業包班~請您來電洽詢 本課程承辦人:工研院 陳小姐,電話:04 ,yuwan@.tw
※經濟部工業局廣告
主辦單位: 承辦單位: 執行單位:
課程大綱
單元 課程內容
MEMS 發展與應用介紹
有限元素法在MEMS 的模擬實現
實作軟體介面(COMSOL Multiphysics)概述與應用
Day 1 MEMS 致動器技術原理與案例實作
- 電熱驅動式致動器案例實作
- 靜電式致動器案例實作
- 壓電式致動器案例實作
MEMS 感測器技術原理與案例實作
- 電容式壓力感測器案例實作
- 壓阻式壓力感測器案例實作
Day 2
- 加速規感測器案例實作
MEMS 問題與分析
本課程歡迎企業包班~請來電洽詢
課程承辦人JOAN 陳小姐04
QA
講師簡介 :
經 歷: 科技業-資深軟體工程師
崔老師
專 長:微機電模擬分析 、CAE 數值模擬分析 、可靠度
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