真空的测量调研报告.doc

真空获得与测量调研报告 物理1112100202 董泠萱 2012/10/23 摘要： 空间真空测量技术是与人类探索和开发宇宙空间的进程紧密相连的。人类从地面出发，向深度宇空进军，要经历宽广的气体压力变化，空间科学研究的对象正是处在这样的环境之中。因此，对宇空真空环境的度量和探测，也就成为空间科学中的研究内容。真空是用排出或捕获气体分子的方法、使容器中气相分子数目减少来获得的。抽气可由真空泵、阱和消气剂来完。真空测量通常是指稀薄气体全压的测量。用于测量真空度的仪器称为真空规或真空计。本实验就实验室常用的真空获得工具以及测量仪器进行实验介绍以及使用注意事项的介绍。 关键词：真空 真空获得 真空测量 油扩散 真空计 真空获得的方法 1 真真真真空获得空获得空获得空获得 目前常用的真空获得设备主要有旋片式机械真空泵、油扩散泵、涡轮分子泵、低温泵等 1.1 低真空的获得低真空的获得低真空的获得低真空的获得 获得低真空常采用机械泵，机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀，从而获得真空的装置。它可以直接在大气压下开始工作，极限真空度一般为1.33~1.33×10-2Pa，抽气速率与转速及空腔体积V的大小有关，一般在每秒几升到每秒几十升之间旋片式机械泵通常由转子、定子、旋片等结构构成。偏心转子置于定子的圆柱形空腔内切位置上，空腔上连接进气管和出气阀门。转子中镶有两块旋片，旋片间用弹簧连接，使旋片紧压在定子空腔的内壁上。转子的转动是由马达带动的，定子置于油箱中，油起到密切、润滑与冷却的作用。当转子顺时针转动时，空气由被抽容器通过进气管被吸入，旋片随着转子的转动使与进气管相连的区域不断扩大，而气体就不断地被吸入。当转子达到一定位置时，另一旋片把被吸入气体的区域与被抽容器隔开，并将气体压缩，直到压强增大到可以顶开出气口的活塞阀门而被排出泵外，转子的不断转动使气体不断地从被抽容器中抽出。 1.2 高真空的获得高真空的获得高真空的获得高真空的获得 目前，广泛使用的获得高真空的泵就是扩散泵。扩散泵是利用气体扩散现象来抽气的，它不能直接在大气压下工作，而需要一定的预备真空度（1.33~0.133Pa）。油扩散泵的极限真空度主要取决于油蒸汽压和气体分子的反扩散，一般能达到1.33×10-5~1.33×10-7Pa。抽气速率与结构有关，每秒几升~几百升不等，油扩散泵的结构如示意图3-1-2-1。泵的底部—是装有真空泵油的蒸发器，真空泵油经电炉加热沸腾后，产生一定的油蒸汽，蒸汽沿着蒸汽导流管传输到上部，经由三级伞形喷口向下喷出。喷口外面的压强较油蒸汽压低，于是便形成一股向出口方向运动的高速蒸汽流，使之具有很好的运载气体分子的能力。油分子与气体分子碰撞，由于油分子的分子量大，碰撞的结果是油分子把动量交给气体分子自己慢下来，而气体分子获得向下运动的动量后便迅速往下飞去．并且，在射流的界面内，气体分子不可能长期滞留，因而界面内气体分子浓度较小．由于这个浓度差，使被抽气体分得以源源不断地扩散进入蒸汽流而被逐级带至出口，并被前级泵抽走．慢下来的蒸汽流在向下运动的过程中碰到水冷的泵壁，油分子就被冷凝下来，沿着泵壁流回蒸发器继续循环使用．冷阱的作用是减少油蒸汽分子进入被抽容器。 1.3 真空获得气路原理真空获得过程中气路原理 开机实验后，前一段时间主阀处于关闭状态，旁路阀打开时机械泵直接抽工作室里的气体。在扩散泵加热的45min的过程中，旁路阀与前级阀一直交替着开与关。因为开始主阀一直是处于关闭状态，当旁路阀关前级阀开时，机械泵此时直接抽储气罐里的气体，在交替抽气的过程中要使储气罐的气压保持在5.0Pa以下。45min后，扩散泵加热完成（在工作室的气压处于较代气压时，5.0Pa以下）。此时关闭旁路阀，机械泵就不能直接抽工作室里的气体。打开主阀和前级阀，此时工作室的气体经扩散泵的作用到达储气室，再经机械泵的作用完成进一步的抽气，直到把工作室的气压抽到5.0×10-3Pa，这时的工作室近似处于真空状态。 二、真空测量的仪器及其原理 一般实验室常用由热耦真空计和电离真空计合在一起的复合真空计。它是由热耦规管、电离规管和电测系统而构成的。 、热偶真空计 也叫热偶规，通常用来测量低真空，可测范围为10～10-1Pa。 它是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关，而低压下气体的热传导与压强成正比的原理测量真空的。它由热规管和电测系统构成。如图，它由一根钨或铂制成的电热丝，另由AB、AB′两根不同金属组成的一对热电偶。热电偶一端（热端）与热丝在A点焊接，另两头B、B′分别焊于芯柱引线，再接到毫伏表上。 在铂丝上加一定的电流，铂丝温度升高，热电偶出现温差电动势，它的大小可以通过毫伏计测量。