Sialon的微波合成及烧结工艺的分析研究.pdf

摘 要 本文系统阐述了微波高温技术的研究现状、陶瓷微波烧结的基本原理、特点、 和技术难点，并着重论述了烧结设备的核心组成部分——烧结谐振腔。详细介绍 了 Sialon 陶瓷的组成、结构、性能、烧结方法以及在工业领域的应用；研究了 Sialon 陶瓷微波反应合成烧结；并从热力学和动力学观点分析了陶瓷材料的微波 烧结机理。 本研究利用Al粉、Si粉、Al O 粉为原料,部分试样用Si N 粉作为晶种和稀释 2 3 3 4 剂，根据微波加热特点，调整原料的配比，配合自制的工业微波高温烧结炉，选 择合适的微波工艺合成了不同Z值的β′-Sialon ，研究了原料配比、保温结构中炉气 中氧含量、烧结温度、保温时间、气氛和晶种等对产物性能的影响。 结果表明：以Al粉、Si粉、Al O 粉为原料，成功用微波反应合成、常压烧结 2 3 出不同Z值的β′-Sialon ，其烧结属液相烧结； 实验发现，利用微波反应烧结β′-Sialon ，原料配比和保温结构的设计很关键； 气氛和晶种对试样的体积密度和晶粒的尺寸有一定的影响；本研究在自行设计的 烧结腔体中利用微波反应合成Sialon 的温度在 1400～1650℃，保温时间在 30～ 120min，均能得到Sialon相含量很高的试样，分析表明微波烧结能明显地使晶粒 细化，致密化速率加快，能获得较高密度的试样；微波烧结Z值等于 3 的β′-Sialon 在烧结温度 1500℃、保温90min 下烧结的材料密度为 3.050g/cm 3 ，室温抗弯强度 为 150MPa。工业化条件下烧制的样品，测得的室温抗弯强度偏低。而利用微波 反应合成β′-Sialon ，相比传统工艺具有降低烧结温度、缩短保温时间、节能省时 等优势。为工业生产Sialon提供一种高效、节能、经济效益好的方法。 关键词：微波烧结；陶瓷；Sialon ；氮化反应 I ABSTRACT The research status for microwave sintering of ceramics, the synthesis process, the mechanism, the development of microwave sintering system, the equipment in the past few decades have been reviewed. The research and development on Sialon ceramics, the structure, performances and preparation process has also been discussed. In present study, research focus on the preparation of β′-Sialon ceramics from powders of aluminium, silicon and alumina using microwave (MW, 2.45GHZ). The processing parameters, such as the ratio of the starting materials, the atmosphere, synthesis temperature, flowing gas, soaking time and the seed of β′-Sialon grain, and the properties of the sintered β′-Sialon ceramics have been studied. Results show that when the specimen sintered at 1500