【2017年整理】磷酸盐激光玻璃聚(CH3)2SiOSiO2防潮膜改性研究.pdfVIP

第18 卷 第2 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 18 ，No. 2 2006 年2 月 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Feb. ，2006 文章编号： 1001-4322（2006 ）02-0215-04 磷酸盐激光玻璃聚（CH ）SiO/ SiO 防潮膜改性研究* 3 2 2 刘瑞军， 唐永兴， 朱健强 （中国科学院上海光学精密机械研究所 高功率激光物理国家实验室，上海20 1800 ） 摘 要： 采用溶胶-凝胶方法制备的（CH ）Si （OC H ）预聚体涂膜液中，掺入碱催化的SiO 悬胶体涂 3 2 2 5 2 2 膜液，采用旋涂法在掺钕磷酸盐激光玻璃棒端面涂制了改性的防潮膜。当涂膜液中（ CH ）Si （OC H ）和 3 2 2 5 2 SiO2 物质的量之比为1: 1 时，热处理后的膜层耐摩擦性能明显改善；表面粗糙度的均方根值为1. 245 nm ；膜 2 层激光破坏阈值大于15 J/ cm （1 053 nm ，1 ns ）；在80 ℃ 和95% RH 的封闭环境中静置336 h ，膜层的透过率、 接触角基本不变。结果证明膜层具有稳定的疏水结构和很好的防潮性能，膜层强度增加，耐磨擦能力提高，膜 层使用期延长。 关键词： 防潮膜； 溶胶-凝胶； 有机硅； 激光破坏阈值 中图分类号： O484 文献标识码： A 掺钕磷酸盐激光玻璃是惯性约束聚变（ICF ）激光装置中放大器工作物质，长期在空气环境中使用，空气中 的水分会使玻璃表面受潮、发霉、出现斑点，破坏玻璃表面的光学面形并降低激光的透过率。例如，在我国“神 光Ⅱ”装置的研制过程中，开始使用未涂膜的掺钕磷酸盐玻璃棒在实验室20 ℃ ，60% RH 空气中约5 个月，玻 璃表面出现斑点。为延长钕玻璃棒使用寿命，提高激光器稳定性，必须涂制具有较高激光破坏阈值和良好防潮 解功能的保护膜。Thomas 用溶胶-凝胶工艺制备的增透膜和保护膜在美国洛仑兹利弗莫尔国家实验室已经使 ［1］ ［2 ］ 用多年 ；法国里梅尔国家实验室发展了该工艺技术 。国内在ICF 领域用熔胶凝胶法制备增透膜的研究也 ［3-5 ］ ［6-7 ］ 有报道 ，中科院上海光机所对KDP 晶体和掺钕磷酸盐激光玻璃制备的增透膜和保护膜已投入应用 。 现在应用于我国“神光 ”及“神光 ”原型中的掺钕磷酸盐激光玻璃棒状放大器上的（CH ）SiO （即聚 Ⅱ Ⅲ 3 2 （ CH ）Si（OC H ））防潮膜，具有较高的激光破坏阈值和良好的防潮解性能，涂制了该膜层的磷酸盐激光玻璃 3 2