微型压电泵中腔高对气泡滞留的影响规律-光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椀 暋 棾 暋 斨旓旍棶棽椀暋斘旓棶棾 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椃 棾 暋 暋 暋暋斖斸旘棶棽棸棻椃 文章编号 棬 棭 椂椃棽灢棸椄 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椃棸棾灢棸 微型压电泵中腔高对气泡滞留的影响规律 棻 棽 棻灣 棽 棽 棻 棳 棳 棳 棳 棳 陈 松 刘 勇 阚君武 周京京 杨志刚 程光明 暋 暋 棬 棳 椈 棻灡浙江师范大学精密机械研究所 浙江金华 棾棽棻棸棸棿 棳 棭 棽灡吉林大学机械科学与工程学院 吉林长春 棻棾棸棸棽椀 椇 棳 暎 摘要 气泡滞留会严重地损害微型压电泵的输出性能 因此减少气泡滞留将有效地提高压电泵系统的稳定性和可靠性 棳 棳 暎 泵腔作为气泡滞留的主要区域 同时是决定输出性能的重要元素 所以改变腔高将对气泡滞留产生重要的影响 本文从 棳 棳 气泡压力降和输出压力两个方面建立数学模型 以此分析腔高对气泡滞留的影响规律 最后通过气泡滞留实验进行验 暎 棳 棳 棳 棳 证 实验结果表明 腔高为 时 压电泵具有优良的输出性能和排气泡能力 在进入 个 气泡后 压 棸棶棻椀旐旐 棻棽棸 棸棶棸棽旐斕 棬 棭 棬 棷 棭椈 棳 电泵仍具有稳定的输出压力 和输出流量 腔高为 和 时 压电泵在进入一个气 椄棶棻旊斝斸 棿棶棽旐斕旐旈旑 棸棶棸椀旐旐 棸棶棽棸旐旐 棳 棳 棳 泡后即丧失了工作能力 排气泡能力差 而腔高为 和 时 压电泵分别进入 和 个气泡后丧失了工作 棸旐旐 棸棶棻棸旐旐 棿椃 椃棸 暎 暎 能力 实验表明选取合理的腔高可以有效地减少气泡的滞留 椇 椈 椈 椈 关 键 词 微型压电泵 腔高 气泡滞留 气泡压降 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷 斣斎棾椄暋暋 斄暋暋斾旓