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是德科技 4080 系列参数测试仪 您是否已做好迁移到新平台的准备， 以应对最艰巨的测试挑战？ 引言 更先进的测量挑战需要新的解决方案 半导体制造工艺和全新的工艺技术给生产参数测试系统带来了高难度的挑战 – 20/28 纳米及以下级别的器件参数变化更加难以控制，相比过去，对其测试时需要捕获更多的参数测试 数据。 – “技术助推器”例如高 k 栅介质材料、应变硅或 FinFET 的使用，使我们必须执行比前几代硅技术更多、更 困难的测试。 – 最先进的闪存单元对脉冲生成的要求，已经超出了此前参数测试仪的能力范围。 – 随着对半导体器件工作速度的需求越来越高，选通时延和互连时延测量显得尤为重要。 这些因素的出现，使得我们需要创新测试方法以适应生产参数晶圆测试的需求。 03 | 是德科技 | 4080 系列参数测试仪—手册 Keysight 4080 系列克服了困难的工艺测试挑战 是德科技提供的解决方案实现了生产参数测试的革命性进步。Keysight 4080 系列专为满足电流和尖端半导体技术的测量挑战而设计。 Keysight 4082A 参数测试系统是一个高吞吐量的生产参数测试系统，它拥有先进的测试功能、高频开关矩阵选件、高速电容测量选 件，并全面支持 SEMI 工厂自动化标准。 Keysight 4082F 闪存单元参数测试系统具有强大的脉冲功能，且该功能经过优化用于表征最先进的闪存单元技术，所以能够支持新 型高压半导体脉冲发生器（HV-SPGU）模块。 4082A 和 4082F 的革命性测试功能为电流和先进的生产参数测试提供了优势。 除了优秀的硬件之外，一个高效而完整的参数测试解决方案还需要出色的软件。为了满足这些要求，4080 系列拥有一个多功能系统 软件环境，它能够兼容 Keysight SPECS 或 Keysight SPECS-FA 测试外壳程序。 针对需要使用 PNA 网络分析仪进行射频器件测试的用户，Keysight 4083A 提供了可选的 8 x 10 射频矩阵功能，它可以提高射频测试 吞吐量，并延长探头卡进行射频 S 参数测量的使用寿命。 Keysight 4080 系列参数测试仪 4083A 直流/射频参数测试系统 – 射频矩阵 * – 射频直接路径 * 4082F 闪存单元参数测试系统 – SPGU 主机和 HV-SPGU 模块 – SPGU 主机和 HV-SPGU （可选） 模块（可选） 4082A 参数测试系统 – 脉冲开关和高频开关矩阵 * – 脉冲开关和高频开关矩阵 – 脉冲开关和高频开关矩阵 * – 高速电容测量单元（HSCMU）* – 高速电容测量单元（HSCMU）* – 高速电容测量单元（HSCMU） * – 电源/监测单元（SMU） – 电源/监测单元（SMU） – 电源/监测单元（SMU） – 标准低电流直流开关矩阵 – 标准低电流直流开关矩阵 – 标准低电流直流开关矩阵 – 超低电流直流开关矩阵（可选）* – 超低电流直流开关矩阵（可选）* – 超低电流直流开关矩阵（可选） * * 可用选件 除了满足先进工艺的测试挑战之外，灵活的 4080 系列还能提高现有工艺技术的测量吞吐量。 04 | 是德科技 | 4080