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深圳市昌耐宝科技有限公司 版次:CNB 001 2014 昌耐宝科技欢迎您 Plasma设备培训资料 首页 目录 1 第一章:公司简介第二章:等离子基础理论第三章:等离子功能 1.1表面精细清洁第四章:等离子功能 1.2表面活化第五章:等离子功能 1.3表面接枝与聚合第六章:等离子功能 1.4表面刻蚀第七章:Plasma设备使用介绍 1.1主要技术指标第八章:Plasma设备使用介绍 1.2设备介绍第九章:Plasma设备使用介绍 1.3A设备安装须知第十章:Plasma设备使用介绍 1.3B设备安装须知第十一章:Plasma设备使用介绍 1.4设备使用须知第十二章:Plasma设备使用介绍 1.4B设备使用注意事项第十三章:Plasma设备使用介绍 1.5设备常见故障第十四章:服务与技术支持 PLASMA 等离子技术领导品牌 等离子基础理论 等离子体是正离子和电子的密度大致相等的电离气体。由离子、电子、自由激进分子、光子以及 中性粒子组成，是物质的第四态。 通常情况下，人们普遍认为的物质有三态：固态、液态、气态，区分这三种状态是靠物质中所含能量的多少。气态是物质的三个状态中最高的能量状态 。 给气态物质更多的能量，比如加热后通过高频电源点击，将空气电离会形成等离子体。当到达等离子状态时，气态分子裂变成了许许多多的高度活跃的粒子。这些裂变不是永久的，一旦用于形成等离子体的能量消失，各类粒子重新结合，形成原来的气体分子。 第一章 2 能量 /温度 分子 激化的分子 离子 自由电子 高能分子碎片 PLASMA 等离子技术领导品牌 等离子体功能 材料表面常常会有油脂、油污等有机污物及氧化层，在粘合、焊接前、喷漆前需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。等离子清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料(如：聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯)等原基材料都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。清洗的重要作用之一是提高膜的附着力，同时有利于改善表面沾着性和润湿性。在清洗过程中经等离子体表面活化形成的自由基，能够进一步加成特定官能团（官?能?团?和?特?定?组?成?的?性?质，有机反应类型如下：取代反应；加成反应；消除反应），这种特定官能团的引入，特别是含氧官能团，对改善材料的沾着性和湿润性能起着明显的作用。 1.1表面精细清洁 3 第二章 第二章 PLASMA 等离子技术领导品牌 给气态物质更多的能量，比如加热的同时给予高频电击，将会形成等离子体。当到达等离子状态时，气态分子裂变成了许许多多的高度活跃的粒子。大多数材料如塑料、玻璃、陶瓷与聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚四氟(PTFE)等一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。经过等离子体处理后的惰性材料表面生成活性基团，增加表面极性，提高表面能。等离子处理与灼烧处理相比，不会损害样品，同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，属干式处理工艺（属于环保工艺）。 1.2表面活化 等离子体功能 4 第三章 PLASMA 等离子技术领导品牌 在等离子体表面活化产生的基团或等离子体引发聚合层不能与材料表面牢固结合时，常采用等离子体接枝的方法来改善。等离子体接枝的原理为：首先利用表面活化在材料表面产生新的活性基团，利用此基团与后续的活性物质产生化学共价键结合，后续的活性物质中带有能够满足应用的特定基团，以达到既能满足表面特性又能牢固结合的目的。 等离子体功能 1.3表面接枝与聚合 5 第四章 PLASMA 等离子技术领导品牌 等离子体功能 1.4刻蚀作用 　 离子清洗实质上是等离子体刻蚀（5-10纳米）的一种较轻微的情况。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。所谓直接等离子体，亦称作反应离子蚀刻，是等离子的一种直接浸蚀形式。它的主要优势是高的蚀刻率和高的均匀性。直接等离子体具有较低浸蚀但工件却暴露在射线区。顺流等离子是种较弱的工艺，它适合去除厚为10-50埃的薄层。在射线区或等离子中，人们担心工件受到损坏，目前，这种担心还没有证据，看来只有在重复的高射线区和延长处理时间到60-120分钟才可能发生，正常情况下，这样的条件只在大的薄片及不是短时的清洗中。 材料等离子处理前 材料等离子处理后 6 第五章 PLASMA 等离子技术领导品牌