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第卷第期仪器仪表学报年月横向磁通径向位移传感器研究薛莲晓张剀徐刘哲鸣清华大学工程物理系北京北京博工兴业工程咨询有限责任公司北京摘要横向磁通传感器是一种对转子径向位移进行测量的新型传感器与传统的涡流或电感式传感器相比其凭借独特的探头设计具有高性价比高精度高灵敏度结构紧凑等优点通过理论分析研究了影响该传感器灵敏度的若干因素建立有限元模型通过仿真明确了传感器探头设计的要点总结了设计规律设计并优化实验电路搭建实验平台完成了对传感器的性能测试结果表明该传感器具有良好的灵敏度线性度和极低的耦合度将此传感器成
第３８卷 第５期 仪 器 仪 表 学 报 Ｖｏｌ３８Ｎｏ５
２０１７年５月 ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｍａｙ．２０１７
横向磁通径向位移传感器研究
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