光学自由曲面的检测方法-中国光学.pdfVIP

第! 卷 第! 期 中国光学与应用光学 9-1: ! ;-: ! #$$% 年!# 月 ’()*+* ,-./)01 -2 345(6+ 0)7 8441(*7 345(6+ *6: #$$% 文章编号! !?C=#@!D（#$$% ）$!=$$@#=$% 光学自由曲面的检测方法 ! !，# 张 新 ，许英朝 （!: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学技术研究中心，吉林 长春 !B$$BB ； # : 中国科学院研究生院，北京 !$$$B@ ） 摘要：针对自由曲面光学元件离轴像差小，应用广泛，但检测难度大，加工精度不够高等特点，对现行的自由曲面光学检 测方法进行了分析。提出了在自由曲面光学元件的不同加工阶段宜采用不同的检测手段，根据加工的步骤依次采用三 坐标机、轮廓仪、光学干涉测量等方法为好。介绍了子孔径拼接技术的发展，叙述了利用计算全息（EF ）和反射光栅摄 影测量法检测光学自由曲面等两种有着良好发展前景的方法。最后，给出了利用EF 检测三次位相板的实例。 关 键 词：光学检测；自由曲面；坐标测量；误差评定；计算全息 中图分类号：GF$B ；GH! !: ?D 文献标识码：8 #$% ’( )*++,)’*- ’.#/012 #+3#/(4 IF8;E J()! ，JK A()L=6’0-!，# （!! # $%’( )*+,-(-./ 0*1*’2+ 3*,$*2 ，3+’,.+4, 5,1$%$4$* -6 # $%1 ，7%,* 8*+’,%1 ’,9 :+/1%1 ，3+%,*1* ;’9*/ -6 =%*,*1 ，3+’,.+4, !B$$BB ，3+%,’ ； #! 2’94’$* ?,%@*21%$/ -6 3+%,*1* ;’9*/ -6 =%*,*1 ，A*%B %,. !$$$B@ 3+%,’ ） 563#*10# ：M/**=2-/N -45(6+ ’0+ 0 1-5+ -2 07O0)50L*+ -O*/ 5/07(5(-)01 +PNN*5/(601 1*)+*+ ，Q.5 (5+ 20Q/(605(-) 066./06P (+ +5(11 1-R*/ 5’0) 5’05 -2 5/07(5(-)01 +PNN*5/(601 -45(6+ Q*60.+* 2/**=2-/N -45(6+ (+ 7(22(6.15 5- ()+4*65 QP 5/07(5(-)01 N*5’-7+: G’(+ 404*/ /*O(*R+ 5’* 5*+5()L N*5’-7+ 2-/ 2/**=2-/N -45(6+ ，(5 +.LL*+5+ 5’05 7(22*/*)5 N0).2065./()L 4/-6*++*+ ，+.6’ 0+ 6--/7()05* N*0+./()L N06’()* ，+4*6(01 4/-2(1*/ 0)7 -45(601 ()5*/2*/-N*5*/ +’-.17 Q* 0441(*7 () 5./) 066-/7()L 5- 5’* +(5.05(-) -2 5’* R-/S4(*6*: G’*) ，+*O*/01 4/-N(+()L 5*+5 N*5’-7+ ， 5’* +.Q04*/5./* +5(56’()L 5*6’)(T.* ，-N4.5*/ E*)*/05*7 F-1-L/0N（EF ）N*5’-7 0)7 /*21*65(-) L