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纳米氧化锌掺铝薄膜的微观结构研究
年第 期( )卷
1124 2013 8 44
纳米氧化锌掺铝薄膜的微观结构研究∗
, , , , ,
王明光 杨 慧 汪嘉恒 宁 策 徐奕辰 祁 阳
( , )
东北大学 理学院 辽宁 沈阳 110004
: ( ) ,
摘 要 采用溶胶 凝胶 法在玻璃衬底上制 研究了 薄膜的生长取向和结晶状态 了解
- sol-el TEM ZAO
g
, ( ) 。
备了纳米 掺铝薄膜 利用 射线衍射仪 和 掺杂对 薄膜生长的影响
ZnO X XRD Al ZnO
透射电镜( )对薄膜的微观结构进行了系统的研
TEM
实 验
2
。 ,
究 结果表明 所有在玻璃衬底上生长的ZnO薄膜均
。 ( ) ,
具有 轴择优取向 掺杂量为 原子分数 时 薄膜制备
c 2% Al 2.1
。 。
在 薄膜中达到最高水平 过量 掺杂明显减弱 采用溶胶 凝胶旋转涂覆法制备薄膜 选择二水
ZnO Al -
。 , ( ( ) · ) ,
薄膜的 轴择优取向 随着 掺杂量的增加 晶 合乙酸锌 作为前驱体 无水
c Al ZnO ZnCHCOO 2H O
3 2 2
。 , ( ) , (
粒进一步细化 其原因是未进入 晶格的 以非 乙醇为溶剂 乙醇胺 作为络合剂 硝酸铝
ZnO Al MEA Al
( )· ) ,
晶 的形式在 晶界上形成了对晶界运动的 作为 掺杂源 配制出锌离子浓度
AlO ZnO NO 9H O Al
2 3
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