金属膜式热敏电阻在压力传感器中应用.ppt

050410113 阙赛琪 金属薄膜电阻温度特性与制备 金属薄膜的电阻率大于块材的电阻率, 电阻率温度系数小于块材的电阻率温度系数, 且电阻率与电阻率温度系数, 与薄膜的厚度和薄膜的制备方法等有关。 需要通过控制薄膜厚度, 调整制备工艺等方法使薄膜的电阻率和电阻率温度系数与块材趋近, 这样才能使方块电阻和电阻温度系数在大温度范围稳定。这是金属薄膜电阻作为热敏元件的重要条件, 它决定热敏元件重复性和稳定性的好坏。 在压力传感器上的应用 金属薄膜式热敏电阻器集成在压力传感器上作为热敏元件, 即可以直接用于测温, 又可以对压力值进行温度补偿。 对铂、铝、镍、银薄膜电阻在压力传感器上的应用进行了研究, 结果表明: 不同用途的压力传感器, 不同的工作温度, 采用其中不同的金属薄膜电阻。 高压高温压力传感器 铂薄膜电阻 铂电阻温度计 金属铂是理想的测温材料, 20 世纪80 年代为制作小型、廉价的铂温度计, 各国竞相研究铂薄膜热敏电阻元件, 目前已有型号产品出售。铂薄膜式热敏电阻器也可以集成在压力传感器芯片上作为热敏元件, 它适用于大温度范围工作的高温高精度传感器。 铂薄膜式热敏电阻器, 可以作为大温度范围、高温度、高精度压力- 温度传感器的热敏元件,但是工艺性较差。 铝薄膜电阻 铝薄膜式热敏电阻器, 线性度好, 精度高,可以工作到200, 但是灵敏度较低, 抗电迁移性和耐腐蚀性差, 可以将其集成在常温压力传感器上 镍薄膜电阻 结果表明镍薄膜热敏电阻制备工艺简单, 灵敏度高, 工作温度范围较宽, 在常温到350 有较好的重复性。但是, 由图2 得到电阻的非线性度达9. 3% , 较差,作为温度传感器使用必须进行非线性补偿。 银薄膜电阻 银与二氧化硅和硅的粘附性较差, 可以采用多层结构解决这一问题: 铬- 镍- 银多层薄膜, 薄厚大约分别为: 30, 100, 800 nm, 采用蒸镀法淀积薄膜, 光刻剥离法电阻成型。银的电阻率比铝还低, 因此作为热敏电阻也有灵敏度低的问题, 和铝一样可以直接作为内连线, 压焊引出内电极。银的电阻- 温度曲线的线性度比铝更好。 ( 1) 金属薄膜式热敏电阻器集成在压力传感器上作为热敏元件, 即可以直接用于测温, 又可以对压力值进行温度补偿。对不同使用温度, 不同性能要求的压力传感器, 需要选择不同材料的金属薄膜式热敏电阻器。 ( 2) 铂薄膜式热敏电阻器, 可以作为大温度范围、高温度、高精度压力- 温度传感器的热敏元件,但是工艺性较差。 ( 3) 铝薄膜式热敏电阻器, 线性度好, 精度高,可以工作到200, 但是灵敏度较低, 抗电迁移性和耐腐蚀性差, 可以将其集成在常温压力传感器上。 ( 4) 镍薄膜式热敏电阻器, 灵敏度高, 工作温度可以从常温到350 , 但是非线性度较差, 必须进行非线性补偿, 可以将其集成在高温压力传感器上。 ( 5) 银可以采用多层结构: 铬- 镍- 银多层薄膜电阻作为热敏元件, 与铝薄膜式热敏电阻器性能接近, 且好于铝, 特别在抗电迁移性和耐腐蚀性方面。 总结