光学读出红外成像中面光源影响下的光学检测灵敏度研究-物理学报.pdfVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 22 (2013) 220703 光学读出红外成像中面光源影响下的光学 检测灵敏度研究* † ‡ 吴健雄 程腾 张青川 高杰 伍小平 ( 中国科学技术大学, 中国科学院材料力学行为和设计重点实验室, 合肥 230027 ) ( 2013年6月1 日收到; 2013年8月13 日收到修改稿) 在光学读出红外成像的理论分析中, 通常将具有一定实际尺寸的非相干面光源简化为理想点光源, 导致了分析 误差. 本文建立了面光源模型, 通过夫琅禾费衍射理论, 研究了面光源影响下的光学检测灵敏度, 发现了光学检测灵 敏度随光源半径和焦平面阵列反光板长度的变化关系, 提出了面光源影响下的光源尺寸和反光板长度的优化设计 准则. 针对理论分析, 进行了实验验证, 测试结果与理论分析一致. 关键词: 面光源, 光学读出, 焦平面阵列, 非制冷红外成像 PACS: 07.10.Cm, 07.57.Hm, 07.57.Kp, 42.72.−g DOI: 10.7498/aps.62.220703 temperature difference, NETD) 小于 1 K 的人体热 5 1 引言 像 . 2006 年, 美国Oak Ridge 国家实验室的研究 小组设计了“青蛙” 状双材料微梁FPA, 利用小孔滤 红外成像技术在军事、医学、气象、公共安 波成像光路, 成功获得NETD 约为500 mK 的人体 全等领域有广泛的应用前景. 近年来, 随着微机电 6 红外图像 . 2009 年, 美国贝尔实验室报道了他们 系统(micro-electromechanical systems, MEMS) 技术 7 基于像素间干涉原理的光学读出系统 . 同年, 美 的发展, 基于双材料微悬臂梁热机械效应的非制冷 国Agiltron, Inc. 公司也报道了他们在研发商业化 红外成像技术逐渐受到重视. 在红外信号的检出方 8 的光学读出热型红外检测器方面的进展 . 法上, 研究者先后提出了电容、压电、光学等多种 从2001 年开始, 本课题组开展了基于双材料 方案. 相对于其他检出方案, 光学读出原理不需要 微悬臂梁阵列的光学读出非制冷红外成像技术研 在焦平面阵列(focal plane array, FPA) 中集成微读 究, 提出了在FPA 谱平面上进行刀口滤波的光学读 出电路, 因此, 它对MEMS 加工工艺要求低, 制作 910 出方法 , 以及回折腿间隔镀金结构的微梁单元 难度小, 是一种具有低成本、高性能潜力的解决方 11 设计 ; 同时, 针对传统的有基底FPA 结构的不 案. 美国Berkeley 大学的研究