络合-聚合法制备LaFeO-%2c3-半导体薄膜及其丙酮气体敏感性能的分析研究.pdfVIP

摘 要 本研究采用络合．聚合法制备了LaFe03薄膜，并对其制备过程和对丙酮的气 敏机理进行了讨论，揭示了LaFe03薄膜组成一工艺．结构．气敏性能的内在联系。 配制成浓度为O，3mol／L的前驱体水溶液，在A1203基片上经过浸渍一提拉、干燥、 光谱分析了前驱体的结构，以TG．DTA分析讨论了前驱体在烧结过程中的变化， 用SEM表征了薄膜的表面形貌。发现烧结温度、A1203基片粗糙度和前驱体溶 液浓度是关键的影响因素，并对其进行了讨论。提出络合．聚合法制备LaFe03 非晶态膜，(3)La-Fe．O非品态膜析晶，(4)多晶膜中晶粒的生长。 采用络合．聚合法制备的LaFe03薄膜对丙酮气体有良好的敏感性能：在测量 l5，响应时间不超 温度为350C时，对浓度为80ppm的丙酮气体的灵敏度高达3 过15s。从缺陷和载流子的性质与浓度入手讨论了LaFe03薄膜的导电机制和气 敏机理。通过反复试验，发现薄膜的烧结制备温度，表面结构及其测量温度是影 响LaFe03薄膜对丙酮气敏性能的主要因素，并进行了深入的研究。用Cu2+掺杂 取代Fd+离子对LaFe03薄膜进行改性，明显改善其阻温特性，扩大了测量温度 范围，提高了低温范围的恢复速度和稳定性。LaFe095Cuo0503薄膜的灵敏度与丙 酮气体的浓度基本呈简单线性关系，最低检钡9浓度可达5ppm。用M06+掺杂取代 Fe”离子后，LaFeo95Moo 反常且复杂，并从缺陷种类和相互作用角度进行了讨论和解释。 由络合一聚合法制备的经过掺杂改性的纳米晶LaFe03半导体薄膜对丙酮气 体的气敏性能优良，基本可以满足对糖尿病检测的要求。 关键词：LaFe03；半导体薄膜；丙酮；气敏；络合．聚合法 ABSTRACT PerovskitestnJctLlrethinfilmswere LaFe03 preparedbypolymerizable complex whichthe andsensitive toacetone method，of syntheticalprocesses properties gas havebeendiscussed．Relationofthe and composition,syntheticalprocess，structure sensitive toacetone thinfilmswas inthis ofLaFe03 property gas investigatedpaper． Withcitricacid and used踮complexagentethyleneglycol髂crossingagent．the solutionwas andother dissolvingLa(N03)3，FeCl3 precursor preparedby inorganic saltsinto whichtheconcentrationwas thinfilmswitll water,of 0．3m01／L．LaFe03 sn．Ilcnlre werefabricatedafterthe perovskite nan